深圳工程塑料散热基板半导体钻模

一种碳纳米管散热结构与电子器件的集成方法，属于微电子工艺技术领域。本发明提供了一种简单、高效的碳纳米管散热结构与电子器件的集成方法。该方法利用碳纳米管阵列作为散热结构，通过在碳纳米管阵列自由端沉积金属浸润层以及制作焊锡层，再将碳纳米管从生长基板上剥离，形成散热结构体；然后将散热结构体的焊锡层与电子器件上的金属浸润层进行接触加热焊接，实现碳纳米管散热结构与电子器件的集成。本发明能够使一个性能良好的碳纳米管散热结构体直接集成于电子器件上，克服了其他碳纳米管散热结构集成方法中工艺复杂，效率低下的技术问题。碳纳米基板的材料结构可调，可以通过调整层数、层间距和叠层方式等，制备出具有不同性质的基板。深圳工程塑料散热基板半导体钻模

高发热器件加散热器、导热板当PCB中有少数器件发热量较大时(少于3个)时，可在发热器件上加散热器或导热管，当温度还不能降下来时，可采用带风扇的散热器，以增强散热效果。当发热器件量较多时(多于3个)，可采用大的散热罩(板)，它是按PCB板上发热器件的位置和高低而定制的特定散热器或是在一个大的平板散热器上抠出不同的元件高低位置。将散热罩整体扣在元件面上，与每个元件接触而散热。但由于元器件装焊时高低一致性差，散热效果并不好。通常在元器件面上加柔软的热相变导热垫来改善散热效果。散热基板5G基站外壳高频高速运行产生大量热量，散热基板（如氮化铝陶瓷）用于射频功放、天线等部件。

高散热基板，碳纳米管基板，它是将碳纳米管（CNT）嵌入氧化铝粉末颗粒并与高分子材料混合而成，已成为韩国新的PCB绝缘材料。其特点包括很强散热性能、极低的热膨胀率、强大的强度、优异的耐腐蚀性、出色的绝缘性能以及无静电产生，从而有效解决了PCB散热问题和加工过程中因静电产生的不良静电噪声问题。利用这种碳纳米管复合材料制作的半固化片，在与铜板热压成覆铜板（CCL）后，其散热性能远超MCCL和陶瓷基板。此外，采用我们的半固化片制作的CCL基板，相较于陶瓷基板，具有以下优势：1.成本效益，比陶瓷板更经济，降低了整体成本。2.垂直散热性能很好，散热效果更佳。

石墨烯是一种超轻、超薄、大比表面积的准二维材料，面密度约0.77mg/m2，单层石墨烯的厚度约0.34nm，石墨烯的韧性极好，弹性模量为1.0tpa，微观强度可达30gpa，是传统钢材的100多倍，理论比表面积为2630m2/g，而且具有非常高的导电、导热性能，如电阻率为2×10-6ω.cm，电子迁移率可达2×105cm2/v.s，在室温下水平热导率约为5×103w/m.k。同时，石墨烯具有高的热稳定性、化学稳定性以及优异的抗渗透性和抗磨性能。因此，石墨烯在力学、电子学、光学、热学以及新能源等各领域中都拥有了很好的应用前景，尤其在散热材料的合成应用方面吸引了人们的关注。随着芯片越来越小、功率越来越大，散热基板已成为决定器件性能、寿命和可靠性的关键技术。

碳纳米管是由碳原子构成的微纳米尺度的管状结构材料，可分为单壁碳纳米管（由单层碳原子经过卷曲形成的管状结构）和多壁碳纳米管（由多层碳原子组成的内外套管结构）。单壁碳纳米管室温导热系数高达6000W/m·K，多壁碳纳米管的室温导热系数也达3000W/m·K，是热导率高的材料之一，这与其结构中碳原子间强的C - C键等因素有关，这种结构赋予了碳纳米管良好的热传导性能，使其成为散热涂料和复合材料理想的功能填料。碳纳米管经过氩气高温煅烧后，硬度增加，这是由于碳纳米管表面的碳原子重新排列形成了更平整、致密的晶体结构。

碳化硅(SiC)基板超高的导热性，仅次于钻石，且热膨胀系数与芯片匹配，机械强度高。MCCL散热基板金属基板散热

但在高碳纳米管含量或高温条件下，其热导率可能会受到负面影响。深圳工程塑料散热基板半导体钻模

碳纳米管等填料在聚合物中的分散程度是影响所制备的聚合物复合材料性能的关键，聚合物的机械性能、热稳定性以及导热导电效率等性能均受到填料分散程度的严重影响。然而，由于碳纳米管的尺寸效应和高的纵横比，其在聚合物基体中的团聚在所难免。改善CNTs分散程度的方法包括表面活性剂分散、超声波处理和表面官能化等方法。大量研究表明，在CNT含量较低的情况下，分散程度对复合材料导热性的影响效果明显，更好的分散可以提高CNT及复合材料的导热性，因为分散程度高可以保证在低填料浓度下形成网络结构。在复合材料中CNT含量较高的情况下，粒子间的平均距离是影响复合材料导热性的关键因素，因为CNT含量较高时，会形成越来越多的CNT / CNT界面，其热阻远低于CNT /聚合物复合材料的热阻。深圳工程塑料散热基板半导体钻模