飞秒激光加工应用于金属掩模板加工:新加坡南洋科技大学VenkatakrishnanK等人利用飞秒激光直写方法制作了以金属薄膜为吸收层、石英为基底的金属掩模板,并将前入射与后入射两种方案做了比较,发现采用前入射的方法能够得到更小的特征尺寸和好的边缘质量。并且利用飞秒激光超衍射极限加工有效地修补了金属镉掩模板的缺陷,修复的线宽达到小雨100nm的精度。目前构建的飞秒激光修正光掩模板工具已在IBM的伯林顿、福蒙特州的掩模制作设备中运行。这对微电子技术的发展将具有重要意义。飞秒激光加工在蓝宝石加工、曲面玻璃和陶瓷生产等领域展现出全新的应用前景。北京超精密飞秒激光MLCC垂直刀片

现在常见的喷油器微孔加工方法首要包括机械钻孔、电火花加工、飞秒激光加工三种。机械钻孔本钱高,因为钻小孔的刀具价格昂贵,加工过程中易磨损且刀具有断裂风险,直接影响微孔加工的一致性和产品良率,且耗材本钱高。电火花加工虽然在尺度上比机械钻孔稍灵敏,但加工功率较低,表面粗糙度不行志向,尤其是加工表面会存在重熔层,一同咱们还必须考虑到电极本钱以及工艺的稳定性。而飞秒激光因为在加工过程中不产生热量,加工出的微孔没有重熔层、毛刺,可以获得更明晰的锐边和更优异的表面质量,然后延长喷嘴寿数。飞秒激光微孔加工值得一提的是,大家对于激光加工并不陌生。那么,飞秒激光与我们常听到的纳秒激光、皮秒激光有什么区别呢?我们先来搞清楚时间单位换算:1fs(飞秒)等于十的负十五次方秒搞清楚了时间单位,我们就知道了飞秒激光是一种极其超短脉冲的激光加工,所以只有它才能真正胜任高精密加工。现今,随着国内外汽车行业排放标准的逐步升级,对于喷油器厂商及其OEM的挑战也越来越大,传统加工的圆孔已经无法满足客户的需求,生产商不断寻求并开发特殊而新颖的喷孔形状来试图达到要求,飞秒激光加工的灵活性及优势就愈发明显。北京自动化飞秒激光超精细超快飞秒激光切割机适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、等材料微细精密加工,切割无变形、精度高。

飞秒激光技术在航空发动机制造上的应用:长久以来,我国发动机制造技术始终是制约航空航天事业发展的瓶颈,产品的质量不过关来自两方面:一是材料技术;二是材料加工技术。飞秒激光钻孔恰恰解决了这个难题!在航空航天领域,燃气涡轮是发动机的三大关键部件之一,其性能直接决定了发动机的好坏。然而航空发动机的涡轮叶片工作温度至少为1400摄氏度,因此必须对高温部件,尤其是叶片必须使用精确的冷却技术。叶片冷却一般通过大量不同直径的气膜孔来实现,孔径约为100~700微米,且空间分布复杂,多为斜孔,角度为15°到90°不等,为了提高冷却效率,开孔形状往往成扇形或者矩形,这给加工带来极大的难度。目前主流的方法是高速电火花,但工具电极制造极为困难,加工好的部件易磨损,加工速度慢,排除孔内的加工屑比较困难,不易散热,根本不适合大批量生产。此外,现代发动机叶片表面通常要覆盖一层热障涂层、一般是陶瓷材料,采用传统电火花无法加工,是未来先进发动机制造的关键技术。随着未来发动机叶片材料逐渐走向非金属化,电火花加工更不靠谱,而飞秒激光加工具有材料适应广、定位精度高、无机械变形、无直接接触等各种优点,非常适合加工微型孔。
云母是一种天然的矿物材料,具有优良的电气、机械和化学性能,广泛应用于电子、电力、通讯、航空航天等领域。其中,云母片的加工是这些领域中一项非常重要的技术。近年来,随着科技的不断进步,飞秒激光技术逐渐应用于云母片的加工中,具有高精度、高效率和高可靠性的优势。飞秒激光是一种超短脉冲激光,其脉冲宽度在飞秒(1飞秒等于10-15秒)量级,具有极高的瞬时功率和能量密度。利用飞秒激光的这些特性,可以实现材料的高精度加工,例如打孔、切割、刻蚀等。在云母片的加工中,飞秒激光打孔和切割设备的应用已经越来越广。云母片的飞秒激光微孔加工设备通常采用脉冲宽度在几个飞秒到几百飞秒的激光器,通过聚焦透镜将激光束聚焦在云母片上,形成极小的光斑。在激光的作用下,云母片内部的电子吸收光能后迅速跃迁到高能态,随后通过非弹性碰撞将能量传递给晶格,使局部晶格产生瞬间高温或产生等离子体。随着时间的推移,这些能量的作用逐渐扩展到周围晶格,形成孔洞。通过控制激光的脉冲数量和脉冲宽度等参数,可以精确控制打孔的大小和深度。飞秒激光进行加工,激光脉冲能量很快地注入作用区域,瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化。

所谓飞秒激光钻孔,即使用频率非常高的激光对材料进行钻孔,飞秒是时间单位,1飞秒等于一千万亿分之一秒,相对于传统激光加工设备,飞秒激光由于脉冲时间极短,被加工物体不会被加热,特别适合加工30微米以下的高精度小孔。对于飞秒激光而言,脉冲作用时间已经实际小于1ps,电子没有足够的时间将能量传递给晶格。从而在材料表面生成众多等离子体,能量伴随着材料的去除而消散,因此出现强烈的烧蚀效果。用飞秒激光进行加工,激光脉冲能量极快地注入很小的作用区域,瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化,从根本上改变了激光与物质相互作用机制。飞秒激光器属于脉冲振荡激光器, 被定位为脉冲宽度约为 100 fs(飞秒)的激光器。广东自动化飞秒激光精密喷嘴
飞秒激光可以加工所有材料, 但更擅长的是石英玻璃宝石等材料它们可以利用我们独特的切割、打磨和抛光技术。北京超精密飞秒激光MLCC垂直刀片
由于PDMS膜是一种柔软、透明、化学惰性的材料,飞秒激光在其表面进行加工时通常具有以下优势:飞秒激光具有极高的空间分辨率和精细加工能力,可以实现在PDMS膜表面进行微小尺度的加工,如微孔、微通道等。飞秒激光的超短脉冲时间意味着加工过程中产生的热影响区域非常小,因此可以比较大限度地减少PDMS膜的热损伤和变形。飞秒激光加工过程中通常不会产生明显的熔化或烧焦,因此可以保持PDMS膜的表面质量和机械性能。在PDMS膜上,飞秒激光可以进行微加工,如微孔钻孔、微通道切割、微结构刻蚀等。这些加工可以应用于微流体芯片、微型生物医学器械、微流控系统等领域,以实现微型结构的制备和功能实现。北京超精密飞秒激光MLCC垂直刀片