北京超精密飞秒激光加工

飞秒激光技术它从根本上改变了光与物质相互作用的方式，实现了从“热加工”到“冷加工”的跨越。从让你清晰视界的眼科手术，到驱动未来计算的集成光芯片，再到探索物质基本运动规律的科学工具，飞秒激光正以其无可比拟的精度和灵活性，深度塑造着现代科技与工业的格局。飞秒激光是一种超短脉冲激光。“飞秒”是时间单位，1飞秒 = 10⁻¹⁵ 秒（千万亿分之一秒）。作为对比，一飞秒与一秒的比值，大约相当于一秒与3170万年的比值。飞秒激光的超短脉冲特性，使其能量在材料热扩散之前就已结束作用，实现 “冷加工” 。指纹模组涉及到飞秒激光加工的环节有：晶圆划片、芯片切割、盖板切割、FPC软板外形切割钻孔等。北京超精密飞秒激光加工

飞秒激光技术关键技术参数与物理内涵：脉冲宽度：通常在几十到几百飞秒。决定了与物质相互作用的瞬时性。脉冲能量与峰值功率：脉冲能量：单个脉冲携带的能量（微焦到焦耳级）。峰值功率 = 脉冲能量 / 脉冲宽度。可达太瓦至拍瓦，这是产生极端非线性效应的基础。重复频率：每秒钟输出的脉冲个数。从振荡器的MHz（高重频，用于精密加工、成像）到放大器的kHz甚至单次（低重频，用于强场物理）。中心波长与频谱：钛宝石激光器输出近红外（~800nm），也可通过光学参量放大等技术扩展到紫外到中红外波段。广东韩国加工飞秒激光阵列遮罩板飞秒激光是精密微加工和光子制造的理想选择，可用于制造光子晶体、周期性纳米结构、三维光子集成结构等。

这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一。脆性材料加工：在蓝宝石玻璃（手机屏幕、摄像头保护盖）、特种玻璃、陶瓷上钻孔、切割、刻划。无崩边、无裂纹，良品率高。金属微加工：为航空发动机叶片制作高效的激光诱导周期表面结构，降低阻力；制造精密燃油喷嘴微孔；支架切割。透明材料内部三维加工：利用其非线性效应，在焦点处发生作用，可以在透明材料（如玻璃、晶体）内部进行选择性改性、写入波导、制作微流道、存储三维数据。这是其他激光无法做到的。太阳能电池：用于晶硅太阳能电池的选择性掺杂和边缘隔离。

飞秒激光的优势：精细的非线性相互作用 — “三维空间选择性”原理：极高的峰值功率密度，使激光与物质的相互作用主要依赖于多光子吸收等非线性效应。这种效应只发生在激光焦点处光强极高的极小体积内，而在光束路径的其他区域（即使聚焦于透明材料内部）几乎不发生作用。直接结果：真正的三维微纳加工：可以像3D打印机一样，在透明材料（如玻璃、光刻胶）的内部任意位置进行写入、改性或制造复杂三维结构（如光子晶体、微流控芯片）。突破衍射极限：通过精确能量，可以使加工区域小于光斑的衍射极限，实现纳米尺度的特征。完美的层析能力：在成像（如多光子显微镜）中，可以只激发焦点处的荧光，实现高分辨率、高对比度的深层三维成像，且对样本无光损伤。飞秒激光在信息储存和记录方面有很好的发展前景。

飞秒激光在精密加工中的独特能力与应用，超越衍射极限的“超衍射”加工原理：利用多光子吸收的非线性特性，加工阈值非常陡峭，只有焦点中心强度好的区域才会发生改性，加工尺寸可以突破光学衍射极限，达到亚波长甚至纳米级别。应用：微光学元件：制作衍射光学元件、微透镜阵列、波导结构。防伪与装饰：在材料内部或表面制作亚微米结构，产生结构色或特殊光学效果。光子器件：直接在光学材料内部刻写光栅、耦合器。真正的三维（3D）内部加工原理：对于透明材料（如玻璃、透明聚合物），飞秒激光只有在焦点处才能达到足够高的强度引发非线性吸收，从而可以选择性地在材料内部任意位置进行改性，而表面和路径上的材料不受影响。应用：微流控芯片：在玻璃或塑料内部直接雕刻出复杂的三维微通道网络。光数据存储：在玻璃内部写入多层、高密度的数据点，实现“5D存储”。集成光学：在透明基板内部制造三维光波导、分束器、干涉仪。飞秒激光几乎可以加工任何材料，但受到激光发射器功率的限制，激光工艺可加工的材料以非金属材料为主。超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光技术的未来发展潜力巨大，特别是在新能源的产生方面。北京超精密飞秒激光加工

传统激光加工就像用喷火切割冰块：边缘会融化，形状模糊，周围一滩水。飞秒激光加工就像用极其锋利的超高速手术刀瞬间切除：切口平整光滑，冰块其他部分保持原样，几乎看不到任何融化痕迹。主要应用领域一览工业制造：精密钻孔、切割、表面结构化、微纳器件制造。眼科屈光手术（全飞秒SMILE）、精细外科手术、牙科加工、设备制造。科学研究：超快光谱学、阿秒物理、粒子加速、实验室天体物理。信息技术：光子集成电路制造、数据存储。消费电子：手机摄像头蓝宝石保护镜片切割、OLED显示屏修复。总而言之，飞秒激光的优势是其“时间尺度”上的特性在“空间尺度”上的完美体现。它将激光加工从“热时代”带入了“冷时代”，开启了超精密、超材料、超维度制造的新纪元。北京超精密飞秒激光加工