北京微米级飞秒激光阵列遮罩板

飞秒激光是一种以 “飞秒” 为脉冲宽度（1飞秒=10⁻¹⁵秒，即千万亿分之一秒）的超快、强脉冲激光。使其在精密加工、科研等领域带来了主要的突破。这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一，太赫兹波产生与探测：飞秒激光是产生和探测太赫兹波的主要泵浦源，用于无损检测、安全成像、物质光谱分析等。精密测量：基于飞秒光频梳技术（另一项诺贝尔奖成果），可以用于距离测量、光学时钟、光谱定标等，精度达到纳米甚至更高。文物保护与修复：可以极其精细地除去艺术品表面的污染物层，而不损伤下层宝贵的原始材料。飞秒激光进行加工，激光脉冲能量很快地注入作用区域，瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化。北京微米级飞秒激光阵列遮罩板

飞秒激光技术几乎无限的材料普适性可加工材料清单几乎不受限：金属、合金、半导体、聚合物、陶瓷、玻璃、晶体、钻石。只需调整激光参数（能量、脉冲数、波长），即可找到合适的加工窗口。精密加工中的关键工艺参数为了实现比较好加工效果，必须精确：脉冲能量：决定单次烧蚀的强度和深度。重复频率：决定加工速度和热积累程度（高重复频率下仍需注意热管理）。脉冲持续时间：更短的脉宽通常意味着更小的热影响。扫描速度与策略：影响加工效率和表面质量。光束质量与聚焦系统：决定小的可加工特征和加工精度。环境：有时需要在真空或特定气体中进行，以避免等离子体效应或氧化。上海工业飞秒激光相机模组镜头切割器对于飞秒激光而言，脉冲作用时间已经实际小于1 ps，电子没有足够的时间将能量传递给晶格。

这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一。精密微纳加工与工业制造，脆性材料加工：在蓝宝石玻璃（手机屏幕、摄像头保护盖）、特种玻璃、陶瓷上钻孔、切割、刻划。无崩边、无裂纹，良品率高。金属微加工：为航空发动机叶片制作好的的激光诱导周期表面结构，降低阻力；制造精密燃油喷嘴微孔；支架切割。透明材料内部三维加工：利用其非线性效应，在焦点处发生作用，可以在透明材料（如玻璃、晶体）内部进行选择性改性、写入波导、制作微流道、存储三维数据。这是其他激光无法做到的。太阳能电池：用于晶硅太阳能电池的选择性掺杂和边缘隔离。

飞秒激光技术这是一种利用超短脉冲（飞秒量级）激光进行加工、测量的前沿技术。由于作用时间远小于材料中热扩散的时间（皮秒量级），能量在被加工材料吸收后，还来不及通过热传导影响周围区域，材料就已通过直接电离（多光子吸收/隧道电离） 被去除或改性。这被称为 “冷加工” 或 “无热加工”。脉冲能量除以脉冲宽度。由于脉冲极短，即使单脉冲能量为毫焦耳级别，其峰值功率也可轻松达到太瓦（10¹² 瓦）甚至拍瓦（10¹⁵ 瓦），相当于全球电网功率的瞬时聚焦。飞秒激光可以加工所有材料（金属、半导体、玻璃和陶瓷），包括透明材料，因此也可用于钻孔、开槽和切割。

基于“冷加工”特性，飞秒激光展现出以下强大优势：1. 极高的加工精度与分辨率可以突破光学衍射极限，实现亚微米甚至纳米级的加工精度。加工边缘极其光滑、无毛刺，侧壁垂直度好。应用：用于切割蓝宝石、超硬材料，雕刻微纳结构，制作光子晶体、光波导等。2. 极小的热影响区对加工点周围的材料几乎无热损伤，没有微裂纹、熔渣和热应力。这对于脆性材料（玻璃、陶瓷、半导体）、热敏感材料（如聚合物薄膜）的加工至关重要。应用：眼科手术（LASIK）、透明材料内部三维雕刻、太阳能电池板划线、微电子器件的精细修复。3.材料普适性由于依靠多光子非线性吸收，其加工不依赖于材料的线性吸收特性。可以对任何材料进行加工，包括透明材料（如玻璃内部）、高反射材料（金、铜）、超硬材料（金刚石）等，而这些材料用传统激光很难甚至无法处理。应用：在钻石上打微孔、在心脏支架上切割复杂图案、对透明导电膜进行图案化。我们一直使用激光切割钻石，用于生产钻石唱片针。我们还使用激光加工蓝宝石、红宝石和陶瓷上的细孔。北京代工飞秒激光颗粒面膜板

飞秒激光切割可直接对玻璃、硅片、不锈钢等材料做激光划线、刻槽、刻蚀等处理，至小线宽小于10微米。北京微米级飞秒激光阵列遮罩板

这是飞秒激光的优势。近乎无热影响区：原理：飞秒激光将能量在皮秒至飞秒的极短时间内注入材料，远快于材料晶格的热振动周期（约1-10皮秒）。能量被电子吸收后，材料通过等离子体爆式去除，热量来不及向周围扩散。结果：加工区域边缘无熔融、无热致微裂纹、无材料重铸层、无热应力变形。这对于脆性材料（玻璃、蓝宝石）、高熔点材料和精密部件至关重要。极高的加工精度和突破衍射极限：原理：其“冷烧蚀”机制依赖于多光子非线性吸收，这种效应只在激光焦点中心极小的区域，光强超过阈值时才发生。结果：加工区域可以远小于光斑的衍射极限，实现亚微米甚至纳米级的加工精度，切口陡直、光滑。北京微米级飞秒激光阵列遮罩板