中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净为 20 + 纳米涂层车间打造模块化洁净室，涂层均匀度提升 20%，产品性能更稳定！芯片半导体洁净室
中源绿净的洁净室环境监测系统，在数据传输过程中，系统采用端到端加密技术，从传感器采集数据到云端存储的全链路均通过 AES-256 加密算法保护，防止数据在传输过程中被窃取或篡改。同时，系统具备断点续传功能，若因网络中断导致数据传输暂停，恢复连接后会自动补传中断期间的历史数据，确保数据完整性。例如某新能源企业的电池电芯生产车间，曾因临时断电导致网络中断 2 小时，恢复供电后，系统自动补传了中断期间的微粒浓度与温湿度数据，未出现数据缺失，保障了生产过程的环境数据追溯。深圳十万级洁净室测试国家标准中源绿净的模块化洁净室，安装周期比传统缩短 60%，已为 30 + 电子厂建成，洁净度稳定在 Class 5 级！
中源绿净优化联动响应机制，其 FFU 与洁净度联动系统采用三级阈值联动设计，预设预警阈值、一级超标阈值、二级超标阈值，对应 FFU 的不同调节策略：预警时维持当前风速并持续监测，一级超标时小幅提升风速（0.05-0.1m/s），二级超标时全额提速并触发报警。系统支持阈值自定义设置，可根据行业标准、生产需求调整各级阈值范围，联动响应方式可灵活选择（风速调节、调节 + 声光报警、调节 + 设备停机）。在食品无菌灌装车间，当出现一级超标时，系统调节 FFU 风速，避免生产中断；当出现二级超标时，系统提速同时触发灌装设备暂停，防止不合格环境影响产品质量；在电子元器件封装车间，预警状态可提醒工作人员关注，无需立即调节风速，平衡管控与生产效率。适用场景包括各类洁净室，尤其是生产连续性要求高的场所，系统分级联动记录自动存储，包含阈值触发时间、调节幅度、恢复时长等信息，便于分析优化，同时支持多级报警推送（现场、管理人员、企业负责人），确保相关人员及时掌握情况，快速处理异常。
中源绿净模块化洁净室采用轻量化设计，主体结构选用度铝型材与轻质洁净板材，在保证结构稳定性的同时大幅降低自重，减少对厂房地面的承重要求。相比传统钢结构洁净室，模块化洁净室的重量降低 40% 以上，特别适合老旧厂房改造或楼层车间使用。某电子企业在三楼车间建设洁净室时，通过轻量化模块化设计，无需对楼板进行加固处理，节省了大量改造费用与时间。自支撑铝型材框架在 6 米跨度内无需立柱支撑，既降低了结构重量，又增加了内部空间利用率。轻量化结构还降低了运输成本与安装难度，使模块运输更加便捷，现场吊装作业更安全高效。在租赁厂房的企业中，轻量化洁净室对原有建筑结构影响小，租赁结束后拆除方便，不会对厂房造成损坏。某食品企业在租赁的标准厂房内建设洁净室，采用轻量化模块化设计，不快速完成安装，还满足了房东对厂房结构保护的要求，实现了双方共赢中源绿净为 20 + 纳米材料厂打造模块化洁净室，粒径≥0.1μm 粒子控制达标，材料纯度提升！
中源绿净洁净度在线监测系统，可根据 ISO 14644-1 标准中不同洁净度等级（如 Class 5、Class 6、Class 7、Class 8）的要求，灵活配置监测参数，系统对 Class 5 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤1200 PCS/m³）的监测误差控制在 ±5% 以内，对 Class 8 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤3520000 PCS/m³）的监测误差≤±3%。电子厂生产芯片、精密电子元件时，对洁净度等级要求极高，若监测系统无法匹配等级标准，可能导致产品良率波动 —— 某电子厂生产 7nm 芯片时，因原监测系统未达到 Class 5 级监测精度，误判洁净区合格，导致某批次芯片良率为 75%，低于正常水平 10 个百分点。该系统通过监测不同等级洁净区的粒子浓度，实时显示当前区域洁净度等级是否达标，当浓度接近等级上限时，自动触发预警，例如 Class 6 洁净区 0.5μm 粒子浓度达到 24000 PCS/m³（等级上限为 35200 PCS/m³）时，系统推送预警信息，提醒管理人员及时干预。中源绿净模块化洁净室，维护成本比传统低 40%，已服务 60 + 企业，年均节省费用超 20 万！江苏模块化洁净室颗粒物监测
中源绿净为 50 + 无菌医疗器械厂打造模块化洁净室，产品无菌合格率提升至 99.99%！芯片半导体洁净室
中源绿净的洁净室环境监测系统，适用场景包括关注能耗成本的洁净室企业，如电子半导体、制药、食品、医疗，尤其适用于大型洁净园区。在电子半导体企业中，能耗统计帮助优化 FFU 与空调运行参数；在制药企业中，分析帮助平衡能耗与洁净度达标；在食品企业中，能耗统计降低洁净加工的生产成本；在大型医疗园区中，汇总分析各洁净区域能耗，实现整体节能。能耗统计分析功能让系统从 “环境监测” 拓展至 “能耗管控”，为用户提供经济、高效的洁净管理方案。芯片半导体洁净室
