中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中，打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景：半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，实时监测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、温度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、湿度（45±2% RH，精度 ±1%）及相邻区域压差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm，可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节，当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿，使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI S2 安全标准，环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净为 30+3D 打印材料企业降低打印件缺陷率，提升产品质量！苏州洁净室环境监测计数器
中源绿净的洁净度环境监测系统，内置历史趋势对比功能，支持将不同时间段、不同区域、不同设备的洁净度数据进行可视化对比，帮助用户发现环境变化规律、排查异常原因、优化洁净管理策略。系统的趋势对比支持三种维度：一是时间维度对比，可选择任意两个时间段（如本周与上周、本月与上月、今年与去年同期）的同一指标（如 0.5μm 微粒浓度）进行曲线对比，直观展示数据变化趋势；二是区域维度对比，可对比同一车间不同区域（如 A 区与 B 区）、不同车间（如光刻车间与封装车间）的同期数据，发现区域管理差异；三是设备维度对比，可对比同一类型的多台设备监测数据，判断是否存在设备精度差异。0.5um环境监测颗粒物在线监测中源绿净在环境监测方面，为 30 + 企业提供环境监测数据共享服务，促进企业间交流合作！
中源绿净的洁净度环境监测系统，适用场景包括航空发动机叶片加工车间、卫星元器件生产车间、导航系统组装车间、航天器复合材料车间。在发动机叶片加工车间，系统监测金属粉尘与温湿度，确保叶片精密加工精度与表面洁净度；在卫星元器件车间，超小粒径监测避免微粒影响元器件电路性能；在导航系统组装车间，金属粉尘监测防止粉尘导致的信号干扰；在复合材料车间，温湿度监测保障复合材料固化质量，避免因湿度波动导致材料分层。航空航天零部件车间适配让系统能满足装备制造的环境管控需求，为航空航天事业提供可靠的洁净环境支持。
中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。中源绿净的环境监测服务，助力 30 + 食品企业控制生产环境，产品不合格率大幅降低！
中源绿净的洁净度环境监测系统，适用场景包括多车间企业、跨区域生产基地、大型洁净园区。在多车间电子企业中，组网系统可同时监控光刻车间、封装车间、测试车间的洁净环境，确保各环节环境达标；在跨区域食品集团中，总部通过组网系统统一管控各地工厂的洁净加工区，避免区域管理差异；在大型医疗园区，组网系统可连接手术室、ICU、消毒供应中心的监测设备，保障全园区医疗环境稳定。多设备组网功能让系统从 “单点监测” 升级为 “全域管控”，为大型企业提供高效的洁净管理方案。中源绿净在环境监测方面，为 30+LED 生产企业提升芯片良率，减少经济损失！无尘车间环境监测颗粒物
中源绿净为 35 + 颜料厂做环境监测，重金属排放达标率 100%，生产合规！苏州洁净室环境监测计数器
中源绿净的洁净度在线监测产品，凭借完善的实时预警机制，将洁净环境管理从 “事后补救” 升级为 “事前防控”，为企业规避生产风险、保障产品质量提供关键支撑。该产品的预警机制以灵活的阈值设置为，用户可根据不同行业的洁净度标准（如 ISO 14644、GMP、食品安全生产规范等），自定义各监测指标的预警阈值与报警阈值。例如在医疗手术室，用户可依据《医院洁净手术部建筑技术规范》，将 0.5μm 微粒浓度预警阈值设定为 3520 粒 /m³，报警阈值设定为 7040 粒 /m³，当监测数据达到预警阈值时，系统启动初级预警，达到报警阈值时则触发高级预警，确保不同程度的洁净度异常都能被及时发现。苏州洁净室环境监测计数器
