中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净的模块化洁净室，安装周期比传统缩短 60%，已为 30 + 电子厂建成，洁净度稳定在 Class 5 级！苏州手持洁净室计数器品牌排行榜
中源绿净的洁净室环境监测系统，操作便捷性方面，方案配备了符合制药行业使用习惯的人机界面，支持触屏操作与密码权限管理，不同岗位人员（如操作员、技术员、管理员）拥有不同的操作权限，防止非授权人员修改关键参数。系统还具备合规报表自动生成功能，可根据 GMP 要求生成年度、季度、月度监测报表，报表包含数据趋势图、超标事件统计、设备运行状态等内容，无需人工整理，直接导出即可用于内部管理或监管申报。中源绿净的制药行业专项方案，通过深度适配行业需求，让洁净度环境监测系统成为制药企业合规生产、保障药品质量的重要工具，适用于化学药、生物药、中药制剂等各类制药企业。苏州千级洁净室在线监测系统中源绿净的模块化洁净室，温湿度控制精度达 ±0.2℃/±2% RH，为 45 + 实验室满足高精度需求！
中源绿净保障系统操作安全性，其 FFU 与洁净度联动系统具备完善的权限分级管理功能，支持设置管理员、区域负责人、操作员、查看员等多个角色，每个角色可分配不同的 FFU 联动操作权限（如参数设置、联动启停、报告导出、故障处理等），避免无关人员误操作影响系统运行。系统支持用户账号与密码加密登录，同时可记录所有用户的操作日志，包含操作时间、操作内容、操作结果、关联 FFU 编号等信息，便于追溯与审核。在大型企业中，总部管理员可掌握全局 FFU 联动权限，区域负责人能管理所辖区域的联动参数，操作员负责日常监测与简单联动调整，查看员能查看数据，确保管理的规范性；在科研实验室中，可限制实验人员的操作权限，防止参数误改影响联动效果。适用场景包括大型集团企业、多区域管理场所、严格合规要求的工厂等，系统支持权限动态调整，可根据人员变动及时修改权限配置，支持多用户同时在线操作，互不干扰，操作日志可长期存储，满足合规追溯要求，权限管理采用加密技术，确保用户信息与操作记录的安全性。
中源绿净深耕半导体行业需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计，支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动，可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化，联动调节 FFU 风速，确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计，可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行，联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序，系统可通过 FFU 高精度联动，维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升，避免微粒导致的电路缺陷；在封装测试车间，系统可根据芯片测试区域的洁净度数据，动态调节 FFU 运行状态，确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等，系统支持与 FAB 管理系统对接，实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻、封装等设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器，对联动系统进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数，降低环境干扰。中源绿净的模块化洁净室，结构承重达 500kg/㎡，为 20 + 企业放置重型设备提供保障！
中源绿净的洁净室环境监测系统，针对微生物污染防控需求进行专项优化，提升微生物监测的准确性与及时性，满足制药、医疗、食品等行业对微生物管控的严苛要求。系统的微生物监测优化体现在三个方面：一是采样效率提升，浮游菌采样器采用双泵设计，采样流量达 28.3L/min，相比传统采样器提升 50%，10 分钟即可完成 1m³ 空气采样，减少采样时间；二是检测精度优化，传感器采用阻抗法与荧光染色结合的技术，可识别细菌、、酵母菌等常见微生物，小检测浓度达 1CFU/m³，避免低浓度污染遗漏；三是数据处理升级，系统支持微生物数据与微粒数据联动分析，当两者同时上升时，优先判定为外部污染（如滤网破损），若微生物上升，则判定为局部滋生（如设备清洁不彻底），帮助快速定位污染来源。中源绿净为 55 + 光电企业打造模块化洁净室，照度均匀度达 85%，提升产品检测精度！深圳激光洁净室计数器标准操作规程
中源绿净为 45 + 半导体车间建模块化洁净室，防静电指数达标率 100%，减少芯片损坏率！苏州手持洁净室计数器品牌排行榜
中源绿净的洁净室环境监测系统，通过智能预警算法与分级响应机制，将洁净环境管理从 “被动记录” 升级为 “主动防控”，帮助用户及时发现环境异常，减少因洁净度不达标引发的生产风险与质量问题。该系统的预警功能以灵活的阈值设置为基础，用户可根据行业标准（如 ISO 14644、GMP、食品安全生产规范）或企业内部管理要求，自定义各项监测指标的预警阈值与报警阈值。例如在医疗行业的 ICU 病房，用户可依据《医院洁净护理单元建筑技术规范》，将 0.5μm 微粒浓度预警阈值设为 3520 粒 /m³，报警阈值设为 7040 粒 /m³，当数据达到预警阈值时启动初级提醒，达到报警阈值时触发紧急响应，避一阈值导致的预警滞后或误报。苏州手持洁净室计数器品牌排行榜
