中源绿净深耕半导体行业需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计，支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动，可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化，联动调节 FFU 风速，确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计，可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行，联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序，系统可通过 FFU 高精度联动，维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升，避免微粒导致的电路缺陷；在封装测试车间，系统可根据芯片测试区域的洁净度数据，动态调节 FFU 运行状态，确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等，系统支持与 FAB 管理系统对接，实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻、封装等设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器，对联动系统进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数，降低环境干扰。中源绿净的模块化洁净室，运行寿命达 15 年以上，为 40 + 企业降低长期更换成本！深圳芯片半导体洁净室在线监测系统
中源绿净的洁净室环境监测系统，支持固件在线升级功能，用户无需现场拆解设备，通过管理平台即可对单台或多台设备的固件进行远程升级，获取新功能、修复漏洞，同时减少设备停机时间与运维成本。系统的在线升级流程包括固件推送、升级确认、自动升级、升级验证四步：平台首先向目标设备推送固件版本（标注更新内容，如 “新增微生物数据导出功能”“修复温湿度数据波动 bug”）；用户在平台确认升级设备与时间（支持选择非生产时段，如夜间）；设备在指定时间自动下载固件并完成升级，升级过程中保持数据采集不中断（升级耗时≤5 分钟）；升级完成后，系统自动验证设备功能（如传感器采集、数据传输），确认正常后反馈升级成功，若失败则自动回滚至原版本，避免设备故障。芯片半导体洁净室检测标准对照表中源绿净为 25 + 疫苗冷库配套模块化洁净室，过渡区设计减少冷量损失 25%！
中源绿净的洁净室环境监测系统，针对微生物污染防控需求进行专项优化，提升微生物监测的准确性与及时性，满足制药、医疗、食品等行业对微生物管控的严苛要求。系统的微生物监测优化体现在三个方面：一是采样效率提升，浮游菌采样器采用双泵设计，采样流量达 28.3L/min，相比传统采样器提升 50%，10 分钟即可完成 1m³ 空气采样，减少采样时间；二是检测精度优化，传感器采用阻抗法与荧光染色结合的技术，可识别细菌、、酵母菌等常见微生物，小检测浓度达 1CFU/m³，避免低浓度污染遗漏；三是数据处理升级，系统支持微生物数据与微粒数据联动分析，当两者同时上升时，优先判定为外部污染（如滤网破损），若微生物上升，则判定为局部滋生（如设备清洁不彻底），帮助快速定位污染来源。
中源绿净洁净度在线监测系统，可根据 ISO 14644-1 标准中不同洁净度等级（如 Class 5、Class 6、Class 7、Class 8）的要求，灵活配置监测参数，系统对 Class 5 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤1200 PCS/m³）的监测误差控制在 ±5% 以内，对 Class 8 洁净区（0.5μm 粒子浓度≤3520000 PCS/m³）的监测误差≤±3%。电子厂生产芯片、精密电子元件时，对洁净度等级要求极高，若监测系统无法匹配等级标准，可能导致产品良率波动 —— 某电子厂生产 7nm 芯片时，因原监测系统未达到 Class 5 级监测精度，误判洁净区合格，导致某批次芯片良率为 75%，低于正常水平 10 个百分点。该系统通过监测不同等级洁净区的粒子浓度，实时显示当前区域洁净度等级是否达标，当浓度接近等级上限时，自动触发预警，例如 Class 6 洁净区 0.5μm 粒子浓度达到 24000 PCS/m³（等级上限为 35200 PCS/m³）时，系统推送预警信息，提醒管理人员及时干预。中源绿净的模块化洁净室，墙板拼接缝隙≤0.5mm，为 35 + 手术室降低细菌滋生风险！
中源绿净智能洁净室物联网平台，可根据药厂特殊生产工艺（如生物制药、无菌制剂、中药提取）的洁净度要求，提供定制化监测方案，平台可灵活增加特殊监测参数（如生物活性粒子浓度、挥发性有机化合物浓度）、调整监测频率（可达 1 次 / 10 秒）、定制专属数据报告模板，定制方案部署周期≤15 个工作日。药厂不同生产工艺对洁净环境的要求存在差异，通用监测方案可能无法满足特殊需求 —— 某生物制药厂生产疫苗时，需监测洁净区生物活性粒子浓度（要求≤1 CFU/m³），原通用监测系统无法监测该参数，导致生产过程存在质量隐患。该平台为其定制的方案中，新增生物活性粒子采样器（与系统无缝对接），实时监测生物活性粒子浓度，当浓度达到 0.8 CFU/m³ 时，自动触发声光报警，并联动紫外线消毒系统启动；同时，针对疫苗生产的批次性特点，定制 “批次 - 洁净度” 关联报告，包含每个疫苗批次生产期间的所有监测参数（粒子浓度、生物活性粒子浓度、温湿度、压差），便于质量负责人（QA）对每批次产品进行环境追溯。中源绿净为 50 + 半导体封装车间建模块化洁净室，封装良率提升 8%，减少生产成本！苏州模块化洁净室悬浮粒子监测
中源绿净的模块化洁净室，防火材料占比 100%，为 25 + 企业通过消防验收一次性达标！深圳芯片半导体洁净室在线监测系统
中源绿净的洁净室环境监测系统，通过智能预警算法与分级响应机制，将洁净环境管理从 “被动记录” 升级为 “主动防控”，帮助用户及时发现环境异常，减少因洁净度不达标引发的生产风险与质量问题。该系统的预警功能以灵活的阈值设置为基础，用户可根据行业标准（如 ISO 14644、GMP、食品安全生产规范）或企业内部管理要求，自定义各项监测指标的预警阈值与报警阈值。例如在医疗行业的 ICU 病房，用户可依据《医院洁净护理单元建筑技术规范》，将 0.5μm 微粒浓度预警阈值设为 3520 粒 /m³，报警阈值设为 7040 粒 /m³，当数据达到预警阈值时启动初级提醒，达到报警阈值时触发紧急响应，避一阈值导致的预警滞后或误报。深圳芯片半导体洁净室在线监测系统
