中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净的模块化洁净室,FFU 运行噪音≤50dB,为 25 + 企业营造安静工作环境!深圳5um洁净室计数器使用说明书

中源绿净洁净度在线监测系统,可同步记录洁净设备(如 FFU、空气过滤器、空调系统)的维护数据,包括维护时间、维护内容(如更换滤芯、清洁设备、校准传感器)、维护人员、维护后设备运行参数(如 FFU 转速、过滤器压差),数据记录完整性达 100%,可长期存储(存储期限≥5 年)。电子厂洁净设备的维护情况直接影响洁净度稳定性与设备使用寿命,若缺乏完整的维护档案,可能导致维护不及时或过度维护 —— 某电子厂 FFU 因未记录维护时间,超过建议维护周期(12 个月)仍未更换滤芯,导致 FFU 过滤效率下降,洁净区粒子浓度超标,影响产品生产。该系统通过记录维护数据,自动生成设备维护提醒,例如 FFU 运行满 10 个月时,推送滤芯更换提醒;空气过滤器压差达到设定阈值(如初始压差的 2 倍)时,提醒清洁或更换。系统还可生成设备全生命周期报告,包含设备采购时间、安装时间、历次维护记录、故障记录、当前运行状态等信息,帮助设备主管分析设备使用寿命规律深圳5um洁净室计数器使用说明书中源绿净模块化洁净室,维护成本比传统低 40%,已服务 60 + 企业,年均节省费用超 20 万!

中源绿净的洁净室环境监测系统,内置能耗统计分析功能,可实时监测并统计系统自身及关联洁净设备(如 FFU、空调、除湿机)的能耗数据,帮助用户掌握能耗分布、识别节能空间、降低洁净管理的能源成本。系统的能耗统计覆盖两类设备:一是自身能耗,通过内置电能计量模块,监测单台设备的电压、电流、功率、耗电量,生成设备能耗日报 / 月报;二是关联洁净设备能耗,通过对接设备的智能电表,获取 FFU、空调等设备的能耗数据,汇总至同一平台。分析功能支持能耗趋势分析(如每日能耗变化、月度能耗对比)、能耗占比分析(如各设备能耗占总能耗的比例)、节能潜力分析(标注能耗异常高的设备,提示优化建议)。
中源绿净针对大型园区管理需求,其 FFU 与洁净度联动系统构建分布式联动网络,可根据园区布局、车间分布、洁净等级差异,规划合理的 FFU 联动集群与数据传输路径,支持有线与无线混合组网,覆盖园区内所有洁净区域,实现集中管理与分散控制的结合。系统平台具备强大的数据处理能力,可同时接入 1000+FFU 设备,实时整合各区域洁净度数据与联动状态,支持园区级数据可视化展示(2D/3D 地图标注),快速定位异常区域。在大型电子产业园,园区内多个半导体车间、封装车间的 FFU 可按区域集群联动,总部管理人员通过平台即可掌握全局状态;在综合性制药园区,不同工厂、不同剂型的洁净室 FFU 联动参数可统一配置,便于园区管委会统筹调度。适用场景包括大型制造园区、产业集群、多工厂联合企业等,系统支持园区与车间两级管理权限,园区管理员负责全局参数配置,车间管理员专注本区域联动调整,具备数据分级统计功能,可生成园区整体联动报告与各车间单独报告,分布式网络具备冗余设计,某一区域网络故障不影响整体联动运行,确保监测管控的连续性。中源绿净为 30 + 体外诊断试剂厂建模块化洁净室,室温波动≤±0.5℃,试剂稳定性提升!

中源绿净智能洁净室物联网平台,具备洁净设备(如 FFU、空气过滤器、传感器)远程运维功能,平台可实时采集设备运行参数(如 FFU 电机温度、过滤器压差、传感器供电电压),支持通过平台远程对设备进行参数调整(如修改 FFU 转速、校准传感器),远程运维响应时间≤2 秒,设备故障远程排查成功率达 80% 以上。电子厂洁净车间设备数量多、分布广,传统运维需人员现场巡检、调试,不耗时久,还可能因人员进出影响洁净度 —— 某电子厂洁净车间有 200 台 FFU,传统运维需 2 名工程师每天巡检 4 小时,每月产生运维成本约 1.5 万元,且人员频繁进出导致洁净区每月超标 2-3 次。该平台通过远程运维,工程师可在控制室查看所有 FFU 的运行状态,当某台 FFU 电机温度超过 80℃(正常阈值为 75℃)时,远程调整电机运行参数,若参数调整无效,再安排人员现场维修,减少不必要的现场操作。中源绿净模块化洁净室,可扩展单元数量达 50+,为 35 + 企业随产能增长灵活扩容!深圳手持式洁净室检测标准对照表
中源绿净为 20 + 航空航天实验室建模块化洁净室,气压差稳定在 10Pa,满足严苛实验要求!深圳5um洁净室计数器使用说明书
中源绿净服务制造行业,其 FFU 与洁净度联动系统具备超高洁净联动监控能力,可满足 ISO 1 级(10 级)洁净区的要求,支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的高精度监测,通过 FFU 无级调速联动,维持极微量微粒浓度,检测分辨率达 1 粒 / 升。系统采用航天级元器件与制造工艺,FFU 联动响应时间低于 0.3 秒,可在长期连续运行中保持稳定精度,同时具备抗振动、抗冲击设计,适应航天制造车间的设备运行环境。在航天器发动机制造车间,精密的发动机部件对微粒污染极为敏感,系统的超高洁净联动能力可确保生产环境符合要求;在卫星总装车间,1 级洁净区的 FFU 联动监控是保障卫星电子设备正常运行的关键,系统可实时捕捉极微量微粒并快速调节。适用场景包括航天零部件制造车间、航天器总装洁净区、航天材料生产车间等,系统支持与航天制造的 MES 系统对接,实现 FFU 联动数据与生产流程的深度融合,便于产品质量追溯与生产工艺优化,同时具备远程诊断与维护功能,可减少航天制造车间的人员进入次数,降低环境干扰,联动数据可用于航天产品的可靠性验证,确保航天器在太空环境中的稳定运行。深圳5um洁净室计数器使用说明书