服务于航空航天和电动汽车的SiC/GaN功率模块，其散热能力直接决定了系统的输出功率和寿命。功率芯片与散热基板（如DBC）之间的界面热阻是散热路径上的关键瓶颈。RPS远程等离子源应用领域在此环节通过表面活化来优化界面质量。在焊接或烧结前，使用RPS对芯片背面和DBC基板表面进行清洗和活化，能彻底去除有机污染物和弱边界层，并大幅提高表面能。这使得液态焊料或银烧结膏在界面处能实现充分的润湿和铺展，形成致密、均匀且空洞率极低的连接层。一个高质量的连接界面能明显 降低热阻，确保功率器件产生的热量被快速导出，从而允许模块在更高的功率密度和更恶劣的温度环境下稳定运行，满足了车规级AEC-Q101和航空AS9100等严苛标准的要求。晟鼎RPS腔体可以损耗监测，实时检测参数变动趋势。晟鼎RPS型号
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，在技术创新的同时注重环保与节能设计，符合绿色制造发展趋势。RPS 设备采用高效的气体利用技术，减少工艺气体的消耗与浪费，降低污染物排放；在等离子体生成过程中，通过精细的能量控制，提高能源利用效率，降低运行能耗。RPS 设备的工艺气体可根据加工需求精细配比，避免过量气体使用导致的环境污染；设备运行过程中产生的废气经过专门处理后再排放，符合环保标准。在节能方面，RPS 设备具备智能休眠功能，在闲置时自动降低能耗；中心部件的低功耗设计进一步减少了能源消耗。该 RPS 设备通过了多项环保与节能认证，成为半导体、电子制造等领域绿色生产的推荐 RPS 装备。山东国内RPS生产厂家晟鼎RPS自研PEO表面处理工艺，增加PEO膜层使用寿命，降低维护成本。
RPS远程等离子源在超表面制造中的精密加工在光学超表面制造中，RPS远程等离子源通过SF6/C4F8远程等离子体刻蚀氮化硅纳米柱，将尺寸偏差控制在±2nm以内。通过优化刻蚀选择比，将深宽比提升至20:1，使超表面工作效率达到80%。实验结果显示，经RPS远程等离子源加工的超透镜，数值孔径达0.9，衍射极限分辨率优于200nm。RPS远程等离子源的技术演进与未来展望新一代RPS远程等离子源集成AI智能控制系统，通过实时监测自由基浓度自动调节工艺参数。采用数字孪生技术，将工艺开发周期缩短50%。未来，RPS远程等离子源将向更高精度（刻蚀均匀性>99%）、更低损伤（损伤层<1nm）方向发展，支持2nm以下制程和第三代半导体制造，为先进制造提供主要 工艺装备。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，为工业物联网提供了精细的数据采集支撑，助力工业智能化升级。在工业生产场景中，RPS 可实时定位生产设备、物料、人员的位置信息，将数据上传至工业物联网平台，实现生产过程的可视化管理。RPS 定位数据与生产数据融合分析，可优化生产流程，提高生产效率；通过监测设备位置与状态，可实现设备的预防性维护，减少故障停机时间。RPS 定位系统具备低功耗、广覆盖的特点，可适应工业车间的复杂环境；支持多设备同时定位，满足大规模工业场景的应用需求。该 RPS 工业物联网解决方案已应用于智能工厂、智能制造园区等场景，成为工业物联网数据采集的中心 RPS 技术工具。为晶圆键合工艺提供超高洁净度界面。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司制定的 RPS 检具设计规范，成为汽车行业高精度检测的重要参考标准。RPS 检具设计严格遵循定位一致性原则，确保检具的 RPS 定位结构与零部件在车身上的装配定位完全一致，包括定位销孔位置、定位面形状等关键参数。在精度匹配上，RPS 检具定位元件的制造精度高于零部件公差要求，例如零部件孔位公差为 ±0.2mm 时，RPS 检具销钉公差控制在 ±0.05mm 以内。RPS 检具具备快速装夹、稳定支撑的特点，通过机械锁紧装置固定零部件，避免人为操作导致的检测误差。为保障检测可靠性，RPS 检具需定期通过三坐标测量机进行校准，销钉间距公差需维持在≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。该 RPS 检具设计方案已应用于多家主流车企，有效提升了零部件检测效率与准确性，成为汽车制造质量控制的中心 RPS 工具。晟鼎RPS等离子浓度检测:通过检测解离腔体内电流判断等离子浓度，确保等离子体稳定。江西远程等离子电源RPS生产厂家
RPS用于晶圆清洗、刻蚀和薄膜沉积工艺，去除光刻胶和残留物。晟鼎RPS型号
远程等离子源，是一种基于变压器电感耦合等离子体技术的duli式自由基发生器（RPS），可以有效的解离输入气体。产生清洗或蚀刻所需的自由基(氟、氧原子等)，这些自由基通过腔室压差传输，远程等离子体内的电场保持在较低的水平，避免电荷可能损坏敏感的晶圆结构，利用自由基的强氧化特性，达到腔室清洗(Chamber Clean)或制程（On-Wafer PROCESS）的目的。该产品设计具有先进的HA或PEO涂层plasma block，先进的功率自适应模式，满足多种镀膜和刻蚀工艺需求，小体积的同时最大功率可达10kw。晟鼎RPS型号
