东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一种用于产生等离子体的装置。安徽pecvd腔室远程等离子源RPS射频电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，在技术创新的同时注重环保与节能设计，符合绿色制造发展趋势。RPS 设备采用高效的气体利用技术，减少工艺气体的消耗与浪费，降低污染物排放；在等离子体生成过程中，通过精细的能量控制，提高能源利用效率，降低运行能耗。RPS 设备的工艺气体可根据加工需求精细配比，避免过量气体使用导致的环境污染；设备运行过程中产生的废气经过专门处理后再排放，符合环保标准。在节能方面，RPS 设备具备智能休眠功能，在闲置时自动降低能耗；中心部件的低功耗设计进一步减少了能源消耗。该 RPS 设备通过了多项环保与节能认证，成为半导体、电子制造等领域绿色生产的推荐 RPS 装备。广东pecvd腔室远程等离子源RPS射频电源用于太空电子器件的抗辐射处理。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，成为新产品研发的 “加速器”，帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段，RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品，供设计团队进行外观与结构检验；在功能性测试阶段，RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件，确保测试结果的准确性；在小批量试产阶段，RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件，验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控，从数据接收、工艺规划到生产交付，每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术，新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上，研发成本降低 20% 左右。目前，RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发，成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数，针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中，RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比，实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀；在工艺腔体清洁中，RPS 调节 NF3/O2 比例，确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统，可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标，根据反馈自动调整参数，维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库，客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快，能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求，成为高精度加工的中心 RPS 装备。RPS是一种用于产生等离子体的装置，它通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，在紧急救援场景中发挥着关键的生命保障作用，大幅提升救援效率。在地震、火灾等灾难现场，GNSS 信号可能受到破坏或干扰，RPS 定位技术可通过蜂窝小区 ID 定位、射频地图定位等方式，快速确定受困人员的大概位置。RPS 定位系统响应速度快，可在复杂环境中稳定工作，为救援人员提供实时的位置指引；定位精度高，能够缩小搜索范围，减少救援时间。晟鼎精密的 RPS 紧急救援定位方案可与救援设备联动，支持多救援团队协同作业，提升救援组织效率。该 RPS 定位技术已应用于多个应急救援场景，帮助救援人员成功营救多名受困人员，成为紧急救援领域的重要 RPS 技术装备。为量子计算超导电路提供无损伤表面清洁。湖南RPS石英舟腔体清洗
晟鼎RPS等离子浓度检测:通过检测解离腔体内电流判断等离子浓度，确保等离子体稳定。安徽pecvd腔室远程等离子源RPS射频电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 基准点系统，是保障汽车零部件装配一致性的中心技术。在汽车生产过程中，不同批次、不同供应商的零部件需实现精细装配，RPS 通过统一的定位点标准，确保零部件在装配环节的定位统一。RPS 定位点由 3 个主定位点和若干辅助定位点组成，通过 “3-2-1 定位原则” 限制零部件的 6 个自由度，避免因定位误差导致的装配偏差。在总装车间，RPS 检测设备可快速验证零部件的定位精度，及时发现超差产品，避免不合格零部件流入装配环节。晟鼎精密的 RPS 系统可与汽车生产线上的自动化设备联动，实现零部件装配的自动化定位与检测，提升装配效率。通过 RPS 技术的应用，汽车车身间隙均匀性明显提升，零部件干涉问题大幅减少，成为汽车制造企业提升产品品质的中心 RPS 解决方案。安徽pecvd腔室远程等离子源RPS射频电源
