RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在智能交通领域的多个场景中得到应用,推动交通智能化发展。在城市交通管理中,RPS 可实时监测车辆位置与行驶状态,为交通流量调控提供数据支撑,缓解交通拥堵;在高速公路场景中,RPS 可实现车辆的精细定位与防撞预警,提升行车安全。RPS 定位技术与交通信号控制系统联动,可根据车辆流量自动调整信号灯时长,优化交通通行效率;在共享出行领域,RPS 可精细定位共享车辆位置,方便用户查找与归还。该 RPS 智能交通解决方案定位精度高、抗干扰能力强,可适应复杂的交通环境;通过与大数据、人工智能技术融合,不断提升交通管理的智能化水平。目前,RPS 定位技术已应用于多个智能交通项目,成为交通领域智能化升级的重要 RPS 技术。为量子点显示提供精密图案化。上海推荐RPS厂家

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。远程等离子体源RPS客服电话用于医疗器械制造中生物相容性表面的活化处理。

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晟鼎远程等离子体电源RPS的应用类型:1.CVD腔室清洁①清洁HDP-CVD腔(使用F原子)②清洁PECVD腔(使用F原子)③清洁Low-kCVD腔(使用O原子、F原子)④清洁WCVD腔(使用F原子)2.表面处理、反应性刻蚀和等离子体辅助沉积①通过反应替代 (biao面氧化)进行表面改性②辅助PECVD③使用预活化氧气和氮气辅助低压反应性溅射沉积④使用预活化氧气和氮气进行反应性蒸发沉积⑤等离子体增强原子层沉积(PEALD)3.刻蚀:①灰化(除去表面上的碳类化合物);②使用反应性含氧气体粒子处理光刻胶。

PS远程等离子源在生物芯片制造中的创新应用在微流控芯片键合工艺中,RPS远程等离子源通过O2/N2混合气体处理PDMS表面,将水接触角从110°降至30°,明显改善了亲水性。在硅基生物传感器制造中,采用NH3/H2远程等离子体功能化表面,将抗体固定密度提升至1012/cm²量级。实验数据显示,经RPS远程等离子源处理的生物芯片,检测灵敏度提升两个数量级,信噪比改善至50:1。RPS远程等离子源在光学器件制造中的精密加工在AR眼镜波导镜片制造中,RPS远程等离子源实现了纳米级精度的表面处理。通过CF4/O2远程等离子体刻蚀二氧化硅波导层,将侧壁粗糙度控制在1nmRMS以下。在红外光学器件制造中,采用H2/Ar远程等离子体清洗锗晶片,将表面颗粒污染降至5个/平方厘米以下,使光学透过率提升至99.5%。远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)是一种用于产生等离子体的装置。

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在材料科学的基础研究和新材料开发中,获得一个清洁、无污染的原始表面对于准确分析其本征物理化学性质至关重要。无论是进行XPS、AFM还是SIMS等表面分析技术,微量的表面吸附物都会严重干扰测试结果。RPS远程等离子源应用领域为此提供的解决方案。其能够在高真空或超高真空环境下,通过产生纯净的氢或氩自由基,对样品表面进行原位(in-situ)清洗。氢自由基能高效还原并去除金属表面的氧化物,而氩自由基能物理性地溅射掉表层的污染物,整个过程几乎不引入新的污染或造成晶格损伤。这为研究人员揭示材料的真实表面态、界面电子结构以及催化活性位点等本征特性提供了可能,是连接材料制备与性能表征的关键桥梁。RPS包含电源和电离腔体两部分,不同的工艺气体流量对应匹配的电源功率。远程等离子体源RPS客服电话

晟鼎RPS等离子浓度检测:通过检测解离腔体内电流判断等离子浓度,确保等离子体稳定。上海推荐RPS厂家

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在紧急救援场景中发挥着关键的生命保障作用,大幅提升救援效率。在地震、火灾等灾难现场,GNSS 信号可能受到破坏或干扰,RPS 定位技术可通过蜂窝小区 ID 定位、射频地图定位等方式,快速确定受困人员的大概位置。RPS 定位系统响应速度快,可在复杂环境中稳定工作,为救援人员提供实时的位置指引;定位精度高,能够缩小搜索范围,减少救援时间。晟鼎精密的 RPS 紧急救援定位方案可与救援设备联动,支持多救援团队协同作业,提升救援组织效率。该 RPS 定位技术已应用于多个应急救援场景,帮助救援人员成功营救多名受困人员,成为紧急救援领域的重要 RPS 技术装备。上海推荐RPS厂家

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