北京半导体飞秒激光MLCC垂直刀片

飞秒激光加工应用于金属掩模板加工：新加坡南洋科技大学VenkatakrishnanK等人利用飞秒激光直写方法制作了以金属薄膜为吸收层、石英为基底的金属掩模板，并将前入射与后入射两种方案做了比较，发现采用前入射的方法能够得到更小的特征尺寸和好的边缘质量。并且利用飞秒激光超衍射极限加工有效地修补了金属镉掩模板的缺陷，修复的线宽达到小雨100nm的精度。目前构建的飞秒激光修正光掩模板工具已在IBM的伯林顿、福蒙特州的掩模制作设备中运行。这对微电子技术的发展将具有重要意义。飞秒激光适用于在各类金属、非金属、复合材料等多种材料上进行盲孔/异型孔等结构的可控锥度精细加工。北京半导体飞秒激光MLCC垂直刀片

飞秒激光是一种先进的激光技术，其特点主要体现在以下几个方面：1.**定义与度量**：-飞秒（femtosecond），简称fs，是标衡时间长短的一种计量单位。具体来说，1fs等于10^-15秒。-即使是自然界中速度max的光速（30万千米/秒），在1飞秒内也只能走0.3μm，这个距离甚至不到一根头发丝的百分之一。2.**技术特点**：-**持续时间极短**：飞秒激光持续的时间极其短，只有几个飞秒，是人类在实验条件下所能获得的至短脉冲。-**瞬时功率高**：飞秒激光的瞬时功率极高，可以达到百万亿瓦，比全世界发电总功率还要多出上百倍。-**聚焦能力强**：飞秒激光能聚焦到比头发的直径还要小的空间区域内，使电磁场的强度比原子核对其周围电子的作用力还要高出数倍。北京半导体飞秒激光钻孔飞秒激光钻孔技术还被运用到透明材料内部的三维微孔加工中，这种制造技术将有利于制造光电传感器设备。

激光打孔工艺可分为长脉冲（ms级）和短脉冲（ns、ps、fs级）激光工艺，注意脉冲宽度是个时间单位，不是长度单位，其中ps皮秒激光和fs飞秒激光也被行业内叫做超快激光。两种工艺相比各有优缺点，同样是气化材料加工小孔，前者因为其单个脉冲照射时间更长，能提供更多能量快速去除材料，相当于大刀阔斧效率高；后者能量细小峰值功率高，可瞬间气化微量材料，素有冷加工的美誉，相当于小刀精啄，几乎没有重熔层，表面质量更好，专业一点讲就是超快激光由于脉冲持续时间远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间，只需考虑电子吸收入射光子的激发和储能过程，加上高达TW（10^12W）级的峰值功率，能量在只有几个纳米厚度内迅速聚集，瞬间产生的超高电子温度值远超材料汽化温度，材料直接从固态转为气态，在表面形成高密度、超热、高压的等离子体状态，实现非热熔性加工。

飞秒激光微纳加工设备适用于许多材料加工，包括但不限于以下几类材料：金属材料：技飞秒激光可以用于金属材料的微细加工，如钢、铝、铜、钛等。它可以实现切割、钻孔、雕刻、表面改性等加工操作。非金属材料：单色科技飞秒激光对非金属材料也具有很好的加工适应性。例如，它可以用于加工玻璃、陶瓷、塑料、聚合物等材料。在这些材料中，飞秒激光可以实现精细的雕刻、孔洞加工、裂纹控制等。半导体材料：飞秒激光在半导体材料加工中具有广泛的应用。它可以用于切割、薄膜去除、微细结构制作等，在半导体器件制造、微电子技术和光电子领域发挥重要作用。生物材料：由于飞秒激光加工的非热效应和小热影响区域，它对生物材料的加工具有独特优势。例如，飞秒激光可以用于生物组织切割、细胞操作、微流控芯片制作等应用。此外，飞秒激光微纳加工设备也可以应用于复合材料、玻璃纤维、光子晶体、薄膜材料等特殊材料的加工。具体的加工能力和适应性还需要根据设备的性能和材料的特点进行评估。飞秒激光技术的未来发展潜力巨大，特别是在新能源的产生方面。

飞秒激光技术在3C产业中的应用。飞秒激光作为超短脉冲激光的典型，具有超短脉宽、超高峰值功率的特点，其加工对象广，尤其适合加工蓝宝石、玻璃、陶瓷等脆性材料和热敏性材料，因此适合于电子产业微细加工行业应用。主要原因是从去年开始的指纹识别模组在手机上的应用带动了飞秒激光设备的采购。指纹模组涉及到激光加工的环节有：①晶圆划片、②芯片切割、③盖板切割、④FPC软板外形切割钻孔、⑤激光打标等。其中主要是蓝宝石/玻璃盖板和IC芯片的加工。苹果6从2015年开始正式使用指纹识别同时带动了一批国产品牌的普及，目前指纹识别渗透率不足50%，因此用于加工指纹识别模组的激光机仍有较大发展空间。同时，激光机还可以应用于PCB钻孔、晶圆划片切割等，应用领域在不断拓宽。尤其是随着未来手机中蓝宝石和陶瓷等高附加值脆性材料的应用，激光加工设备将成为3C自动化设备中重要的组成部分。我们认为在3C自动化加工设备领域，飞秒激光未来或将扮演重要而深刻的角色。飞秒激光加工的特点 · (1) 能量传输时间极短，加工过程中不会产生热效应 。上海工业飞秒激光切割

相对于传统设备，飞秒激光由于脉冲时间极短，被加工物体不会被加热，适合加工30微米以下的高精度小孔。北京半导体飞秒激光MLCC垂直刀片

金属纤维是由金属材料制成的纤维状物体。与传统的金属材料相比，金属纤维具有更高的表面积密度和更大的比表面积，因此在一些特定的应用领域具有独特的优势。金属纤维的种类和特性取决于所选用的金属材料，常见的金属纤维包括不锈钢纤维、铜纤维、铝纤维等。这些金属纤维可以单独使用，也可以与其他材料结合，如聚合物、陶瓷等，以满足特定应用的要求。飞秒激光微纳加工是一种先进的制造技术，可以用于加工金属、陶瓷、玻璃等材料，特别是用于制造微纳米级别的结构。金属纤维薄片是一种复杂结构，需要高精度的加工技术。飞秒激光微纳加工的原理是利用飞秒激光脉冲的极短时间特性，将能量聚焦在非常小的区域内，使材料发生非常快速的变化，从而实现微米甚至纳米级别的加工精度。北京半导体飞秒激光MLCC垂直刀片