中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中，打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景：半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，实时监测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、温度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、湿度（45±2% RH，精度 ±1%）及相邻区域压差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm，可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节，当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿，使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI S2 安全标准，环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净为 75 + 粮油厂做环境监测，仓储环境优化，脂肪酸值升速降 15%！苏州净化车间环境监测颗粒物在线监测
中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。苏州百级环境监测计数器厂家中源绿净的环境监测系统，具备智能化分析功能，为企业提供决策支持！
中源绿净为生物安全柜洁净室开发的环境监测系统，重点强化了气流与微生物的 监测。应用场景：生物安全柜操作洁净室。针对 P2 级生物安全实验室，部署 监测终端，同步采集安全柜出风口风速（0.38±0.02m/s，精度 ±0.01m/s）、下沉气流速度（0.25~0.3m/s）、浮游菌浓度（每小时采样 1 次，检测下限 1CFU/m³）及室内压差（≥10Pa）。采用热球式风速仪实现高精度气流监测，数据采样频率 10 次 / 秒，确保捕捉气流波动。系统具备与安全柜联动功能，当气流速度异常时立即声光报警并自动关闭操作窗口，使微生物泄漏风险下降 70%。已在中科院生物所、协和医院实验室应用，符合 GB 50346 实验室设计规范，环境监测数据合规率 100%。
中源绿净针对航空航天部件洁净室的环境监测方案，强化了低湿度环境下的洁净度管控。依据 AS9100 航空质量管理体系要求，在航天发动机部件装配的 8 级洁净区，部署了低湿度 监测终端，可耐受 10%~30% RH 的低湿环境，监测参数包括 0.5μm 微粒浓度、 温度（测量范围 - 60~20℃，精度 ±0.5℃）、空气洁净度等级等。采用电解法湿度传感器，在低湿环境下测量精度仍保持 ±2% RH，数据刷新周期为 30 秒 / 次。系统具备与除湿机组的联动调节功能，湿度波动控制在 ±3% 以内，使航空部件表面氧化率下降 62%。已服务于中国商飞、航天科技集团等 12 家企业，助力其部件通过航天级环境验证，环境数据合规率 100%。中源绿净的环境监测方案，助力 30 + 环保设备企业提升产品合格率，降低返工成本！
中源绿净在半导体薄膜沉积洁净室洁净度监测中，推出了微粒 - 气体纯度联动方案。应用场景：半导体薄膜沉积洁净车间。针对 10 级沉积区，部署超高精度监测终端，同步检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、沉积气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔体压差（≥20Pa）。采用激光散射法与气相色谱联用技术，气体纯度响应时间≤1 秒，微粒检测分辨率达 0.05μm。系统与沉积设备联动，当气体杂质或微粒超标时自动切断气源，使薄膜沉积缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方华创等企业应用，符合 ISO 14644-1 标准，洁净度稳定性达标率 99.95%。中源绿净为 30 + 企业提供环境监测数据对比分析，助力企业发现问题改进不足！深圳无尘室环境监测检测标准对照表
中源绿净在环境监测领域，为 50 + 实验室保障实验精度，科研成果发表周期缩短！苏州净化车间环境监测颗粒物在线监测
中源绿净在锂电池电芯洁净车间环境监测中，推出了粉尘 - 湿度 - 静电多参数协同方案。针对锂电池匀浆、涂布工序的 1000 级洁净区，配置了防爆型监测终端，同步监测 0.1μm 粉尘浓度（检测下限 0.01mg/m³）、相对湿度（控制范围 20%~30% RH，精度 ±2%）、静电电位（量程 - 500~+500V，精度 ±10V）等参数。采用 β 射线吸收法测量粉尘浓度，响应时间≤1 秒，数据采样间隔 10 秒 / 次，确保及时发现粉尘聚集风险。通过静电消除联动控制，使电芯粉尘附着导致的不良率下降 50%。该系统已在宁德时代、比亚迪电池车间应用，满足 IEC 62133 安全标准，环境管控达标率维持在 99.85%。苏州净化车间环境监测颗粒物在线监测
