中源绿净在光伏组件层压无尘车间环境监测中,推出了粉尘 - 温度 - 湿度多维度方案。应用场景:光伏组件层压无尘车间。针对 1000 级层压区,配置耐高温监测终端(可耐受 60℃环境),同步监测 0.3μm 粉尘浓度(检测下限 0.001mg/m³)、层压温度(130~150℃,精度 ±1℃)、相对湿度(30%~50% RH,精度 ±3%)及气压。采用 β 射线吸收法测尘技术,响应时间≤1 秒,数据采样间隔 5 秒 / 次。系统对接层压机控制系统,温湿度异常时自动调节,使光伏组件层压气泡不良率下降 38%。已在晶澳太阳能、天合光能等应用,符合 IEC 61215 光伏组件标准,环境管控达标率 99.86%。中源绿净在环境监测方面,为 30+LED 生产企业提升芯片良率,减少经济损失!深圳万级环境监测计数器使用说明书

中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中,打造了超微颗粒 管控体系。应用场景:半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区,采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署,可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度,采样流量达 50L/min,数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器, 小检测粒径达 0.05μm,检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动,当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用,符合 SEMI F21 洁净度标准,连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。模块化环境监测检测中源绿净为 55 + 钢铁企业监测废气,脱硫效率提高 18%,排放更环保!

中源绿净为半导体芯片封装洁净室开发的洁净度监测系统,重点强化了微粒与静电协同监测能力。应用场景:芯片封装测试洁净车间。依据 JEDEC J-STD-033 标准,在 100 级封装区部署每 2 平方米 1 个监测点,同步监测 0.3μm 微粒浓度(采样频率 1 次 / 3 秒)、静电电压(量程 - 1000~+1000V,精度 ±5V)及空气流速(0.3~0.5m/s)。采用非接触式静电传感器与激光粒子计数器组合方案,响应时间均≤0.5 秒。系统具备与键合设备联动功能,参数异常时立即触发离子风扇调节,使引线键合不良率下降 48%。已在长电科技、通富微电等企业应用,通过半导体行业洁净室认证,监测数据合规率 100%。
中源绿净在精密光学镀膜洁净室环境监测中,推出了微粒 - 气体纯度双维度方案。应用场景:光学镜片镀膜洁净车间。针对 10 级镀膜区,配置超高精度监测终端,同步监测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 100L/min)、镀膜气体纯度(99.999%~99.9999%)、温度(20~25℃,精度 ±0.3℃)及湿度(30%~40% RH)。采用激光诱导击穿光谱技术检测气体纯度,响应时间≤1 秒,数据采样频率 10 次 / 秒。通过与镀膜机联动控制,当气体纯度不达标时自动切断气源,使镜片镀膜透光率达标率提升 42%。已在舜宇光学、蔡司光学应用,符合 ISO 10110 光学标准,环境管控达标率 99.95%。中源绿净为 20 + 骨科植入物生产企业保障生产洁净度,产品微粒检测合格率提升!

中源绿净为半导体离子注入洁净室定制的洁净度监测系统,强化了高能环境下的监测可靠性。应用场景:半导体离子注入洁净车间。依据 SEMI F47 标准,在 100 级注入区部署耐辐射监测终端,可承受高能离子辐射环境,实时监测 0.3μm 微粒浓度、注入区温度(20~25℃±0.5℃)及静电电位。采用防辐射涂层处理传感器,在辐射环境下检测精度衰减≤5%/ 年。通过与离子源设备联动调节,当微粒浓度异常时自动优化束流参数,使离子注入掺杂不均匀率下降 42%。已在中芯宁波、联电等企业应用,通过半导体设备认证,监测数据追溯通过率 100%。中源绿净为 35 + 化妆品厂做环境监测,微生物控制严,产品投诉率降 20%!苏州手持环境监测计数器校准规范
中源绿净为 20 + 企业提供环境监测咨询服务,解答企业监测难题!深圳万级环境监测计数器使用说明书
中源绿净在食品冻干洁净车间环境监测中,推出了温湿度 - 真空度多维度监测方案。针对冻干食品生产的 C 级洁净区,配置了耐高温监测终端,同步监测冻干舱内温度(-50~80℃,精度 ±0.5℃)、真空度(0~1000Pa,精度 ±5Pa)、车间微粒浓度及湿度。采用电容式真空传感器实现稳定测量,数据更新周期为 5 秒 / 次,确保捕捉冻干关键阶段的参数变化。系统对接冻干工艺管理软件,自动生成参数趋势报告,使冻干食品水分含量合格率提升 50%。该系统已在好想你、三只松鼠等企业应用,符合 GB 23790 冻干食品卫生规范,环境监测数据准确率 100%。深圳万级环境监测计数器使用说明书