洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。厂房设计厂家推荐成都博一医药设计有限公司。天然药物洁净厂房设计
洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施,并应根据需要设置生活用室和其它用室。人员净化用室和生活用室的设置应为:人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更换洁净工作服等房间。厕所、盥(guàn)洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等其它用室,可根据需要设置。人员净化用室和生活用室的设计,应符合下列要求:人员净化用室的入口处,应设净鞋措施。存外衣和更洁净工作服应分别设置。外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜,洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。盥(guàn)洗室应设洗手和烘干设施。空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设旁通门。四川血液制品洁净工程设计中成药净化工程厂房设计欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。
洁净室内的新鲜空气量应满足以下条件中的最大值:1.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。2.每人每小时供给洁净室内的新鲜空气量不少于40m3。3.对于1级到5级的单向流洁净室,宜采用集中式真空吸尘系统;对于洁净区的一般清扫,宜采用移动式高效真空吸尘器。洁净室内的吸尘系统管道应暗藏,吸尘口应加盖封堵。洁净室与周围空间之间必须维持一定的压差,并根据生产工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差应不小于10Pa。根据洁净室的特点,确定维持不同压差值所需的压差风量可以采用缝隙法或换气次数法。送风、回风和排风系统的启闭应进行联锁控制。正压洁净室的联锁程序为先启动送风机,再启动回风机和排风机;关闭时的联锁程序相反。负压洁净室的联锁程序与正压洁净室相反。
防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生,因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电,是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负(-)电荷等量的均匀的电中性状态,而使电荷过剩,物体呈带电状态,由于这些电荷平时是不流动的,故称静电。在洁净室内静电导致的事故有以下几方面;①静电电引起的静电电击,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒,由摔倒又致伤);②静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P-MOS电路放在塑料袋内,摇晃数次后,与非门栅极严重击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏;③静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;④静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏;实验室设计推荐成都博一医药设计有限公司。
有危险的厂房与周围建筑物、构筑物应保持一定的防火间距。如与民用建筑的防火间距不应小于25m,与重要公共建筑的防火间距不应小于50m,与明火或散发火花地点的防火间距不应小于30m。有危险的厂房平面布置比较好采用矩形,与主导风向垂直或夹角不小于45º,以有效利用穿堂风,将性气体吹散,在山区,宜布置在迎风山坡一面且通风良好的地方。防爆厂房宜单独设置。如必须与非防爆厂房贴邻时,只能一面贴邻,并在两者之间用防火墙或防爆墙隔开。相邻两厂房之间不应直接有门相通,以避免冲击波的影响。有危险的设备尽量避开厂房的梁、柱等承重结构。防爆厂房内的高大设备应布置在厂房中间,矮小设备应靠外墙门窗布置,以免挡风。有危险的厂房、库房,宜采用单层建筑。实验室设计选择成都博一医药设计有限公司。四川化妆品工程设计
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空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列要求:1.空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。2.空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。3.中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。4.亚高效和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端;超高效过滤器必须设置在净化空调系统的末端。5.设置在同一洁净区内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率宜相近。6.高效(亚高效、超高效)空气过滤器安装前应进行检漏,安装应严密,安装方式应简便、可靠,易于检漏和更换。7.对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行空气净化处理。8.净化空调系统设计应合理利用回风。9.净化空调系统的风机宜采取变频措施。10.净化空调系统的电加热器、电加湿器应采取安全保护措施。寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。天然药物洁净厂房设计