洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。厂房设计公司如何选择?重庆细胞治疗工厂设计
一个防火分区内的综合性厂房,其洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6h。穿隔墙或顶棚的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵。技术竖井井壁应为不燃烧体,其耐火极限不应低于1h。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6h;竖井内在各层或间隔一层楼板处,应采用相当于楼板耐火极限的不燃烧体作水平防火分隔;穿过水平防火分隔的管线周围空隙,应采用防火或耐火材料紧密填堵。四川提取洁净车间设计推荐厂房设计公司哪家好?成都博一医药设计有限公司。
经专业设计人员设计,使特定的空间里空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度、气流分布、噪音震动及照明、静电等等控制在某一需求范围内,这样的设计过程称为叫净化工程设计。净化工程具有不论外在空气条件如何变化,其室内均能维持原有设定的洁净度、温湿度及压力等特性。净化工程主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。
洁净厂房的耐火等级不应低于二级。洁净厂房内生产工作间的火灾危险性,应按照现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)分类。洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例见附录A。甲、乙类生产的洁净厂房宜为单层,其防火分区比较大允许建筑面积,单层厂房宜为3000m2,多层厂房宜为2000m2。丙、丁、戊类生产的洁净厂房其防火分区比较大允许建筑面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)的规定。洁净室的顶棚和壁板(包括夹芯材料)应为不燃烧体,且不得采用有机复合材料。顶棚的耐火极限不应低于0.4h,疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1.0h。厂房设计公司欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。
洁净室控制:对气压规定对于大部分洁净空间,是为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:①洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。②洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。定制厂房设计口碑商家欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。广州净化工程设计怎么样
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