冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。制造真空计代理商
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。设备真空计用途如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用繁多。
项目概况中国科学院近代物理研究所真空计竞争性磋商采购项目采购项目的潜在供应商应在北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取采购文件，并于2025年09月25日09点30分（北京时间）前提交响应文件。一、项目基本情况项目编号：OITC-G项目名称：中国科学院近代物理研究所真空计竞争性磋商采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：172.000000万元（人民币）采购需求：供应商须以包为单位对该包中的全部内容进行响应，不得拆分，不完整的报价将被拒绝。竞争性磋商及评审、推荐成交供应商以包为单位。2、技术要求详见公告附件。
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 世界真空企业，在皮拉尼真空计的生产工艺上采用白金丝，代替传统灯丝。很大提高了产品稳定性。
利用气体动力学效应的真空计：皮拉尼（Pirani）电阻规：利用电阻与温度之间关系的原理工作，通过测量热丝电阻大小推算气压大小。其测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热电偶规：与皮拉尼电阻规基本原理一致，但使用热电偶直接测量热丝的温度变化。测量范围也一般在0.1Pa至1000Pa。利用带电粒子效应的真空计：热阴极电离规：由热阴极发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，通过测量离子电流的大小推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。其测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。冷阴极电离规：利用磁控放电电离气体分子产生离子，再进压测量。其测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。相关商品品质精选、专业服务。电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计。服务真空计供应商
相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。制造真空计代理商
热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。制造真空计代理商
