无油罗茨真空机组系统

在第三代半导体碳化硅单晶生长（PVT法）中，罗茨真空机组是连接低真空与高真空阶段的桥梁。虽然极限真空通常由分子泵负责，但罗茨泵负责将腔体从几百帕快速抽至1 Pa以下，为分子泵提供必要的前级压力。此工艺对极限真空度和抽气洁净度要求极高。因为罗茨泵转子的间隙极小（通常为0.1mm-0.3mm），如果用于前级抽气的螺杆泵油气分离效果不佳，油蒸气反扩散进入罗茨泵腔，会导致转子咬死。因此，SiC长晶用的罗茨机组必须配备超高精度的前级油气分离器，且泵体通常采用特殊涂层，以减少硅蒸气在泵腔内壁的沉积结垢，延长连续运行周期。罗茨真空机组用于电力电容器生产，实现连续排气保障产品质量。无油罗茨真空机组系统

罗茨真空机组搭载复合密封套，内置唇形密封圈防止液汽体泄漏。无油罗茨真空机组系统

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