传感器MEMS微纳加工个性化服务

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工.作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果.启朴芯微，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节。传感器MEMS微纳加工个性化服务

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富.自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持.浙江前沿领域MEMS微纳加工技术优势基于加工能力、技术研发路径优势,启朴芯微持续凝聚MEMS领域专业人才,以实现工艺能力的突破。

MEMS技术已渗透到消费电子、汽车、医疗、工业及航空航天等多个领域.在消费电子中，智能手机依赖MEMS加速度计、陀螺仪实现屏幕旋转和运动追踪，麦克风与气压计也基于MEMS技术；智能手表通过光学MEMS传感器监测心率.在汽车行业，MEMS压力传感器用于发动机控制，安全气囊的触发依赖加速度计，胎压监测系统（TPMS）也由其实现.医疗领域，MEMS被用于可穿戴健康监测设备、微型药物输送泵及高精度手术工具，例如内窥镜中的**头.此外，工业自动化中的振动监测、环境传感（如温湿度、气体检测）以及航空航天中的惯性导航系统均离不开MEMS.其小型化和低功耗特性尤其适合物联网（IoT）设备，推动了智慧城市和远程监测的发展.

启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，以其独特的技术优势在科技领域崭露头角.它的工作原理虽然复杂，但却蕴含着巨大的价值.在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，为产品的质量控制提供了有效的手段.同时，它的技术发展也为未来的科技研究提供了新的思路.随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为人类社会的发展做出更大的贡献.小型多光谱相机是科技与生活的紧密结合.它的出现，改变了人们的生活方式.在人体肤质检测、工业制品检测、植物检测等领域的应用，使得人们能够更加方便地获取信息，做出更加科学的决策.启朴芯微团队自主研发的配套PC端应用程序，为用户提供了更加便捷的服务.这一产品的成功，不仅体现了科技的力量，也展示了团队的创新能力和市场洞察力.以MEMS光功能芯片为中心,加以启朴芯微前沿技术的支撑,让传感更智能。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是工业检测领域的一次重大突破.它的出现，解决了传统检测方法中的诸多难题.通过像素级定标技术和先进的半导体加工工艺，实现了图像的精细分析和产品的高精度定位组装.过杀率和误判率的降低，提高了检测效率和产品质量.这一系统的成功应用，标志着我国在工业检测领域达到了国际先进水平.宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业发展的重要支撑.它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大突破.先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的保障.服务200余家高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位.获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，更是对其实力的高度肯定.这条产线的发展，将推动我国芯片产业向更高水平迈进.公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统,成果丰硕！沈阳流量传感器MEMS微纳加工长期项目合作

精耕细耘,以业为本,启朴芯微为广大客户提供更加出色的传感技术产品和服务,助力实现MEMS产品价值。传感器MEMS微纳加工个性化服务

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作.传感器MEMS微纳加工个性化服务