江苏甲烷超高纯气体新能源

上海弥正超高纯氮气（纯度达 6N 级），专为半导体晶圆加工设计，以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺，将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下，完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体，它能有效隔绝空气与工艺环境接触，防止晶圆表面氧化或污染，保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统，气瓶内壁经电解抛光处理，避免二次污染，气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后，晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，连续供应 12 个月无纯度波动问题，完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求，成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。

超高纯氚气（杂质≤0.1ppm）用于核工业与放射性检测设备。江苏甲烷超高纯气体新能源

上海弥正针对碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等第三代半导体制造，打造专属超高纯气体解决方案，以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体，其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级，金属杂质含量≤0.01ppb；用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级，确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性，对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体，该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量，有效减少外延层缺陷，提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合，并配备工艺适配团队，协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后，外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下，器件的击穿电压提升 20%，成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。浙江反-2-丁烯超高纯气体光纤生产超高纯六氟化硫用于电力设备灭弧，保障电网安全运行。

上海弥正超高纯三氟化氮（5N 级纯度），是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体，以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物，且反应产物易挥发，无需额外复杂清洗步骤，有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统，气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率，降低环境排放与使用成本，符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后，晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%，刻蚀工艺效率提升 15%，单晶圆制造成本降低 3%，同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准，成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。

上海弥正超高纯氙气（6N 级纯度），凭借 “优越的 X 射线吸收能力 + 放射性杂质”，成为医疗成像与前沿科学探测领域的不可替代材料。通过多级精馏与精密提纯工艺，将总杂质含量控制在 0.1ppm 以下，其中对成像质量影响重大的总烃杂质≤10ppb，具有放射性的氡杂质更是被控制在 1ppb 以下，达到暗物质探测的严苛标准。在医疗领域，作为 CT 机的氙气探测器填充气体，其强大的 X 射线吸收能力能明显提升影像的清晰度与对比度，帮助医生精细识别微小病灶，减少误诊率；在高能物理领域，是大型暗物质探测器的重心工作介质，其超高纯度可比较大限度降低背景干扰，确保探测数据的准确性。采用特制的高压无缝气瓶包装，瓶体经严格的气密性与抗压测试，符合 GB 5099《钢质无缝气瓶》标准，保障储存与运输安全。某医疗设备企业应用后，其生产的 CT 机影像分辨率提升 40%，微小病灶检出率提高 25%；某科研院所在暗物质探测实验中使用该气体，成功捕捉到关键信号，实验进程大幅加速。超高纯锑烷纯度≥99.99%，用于半导体掺杂与红外材料制备。

上海弥正超高纯乙硼烷（5N 级纯度），专为 FinFET、GAA（全环绕栅极）等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计，以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术，将杂质含量控制在极低水平，其中磷、砷等杂质含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中，它能提供高浓度的硼离子，实现对半导体材料的准确、浅度掺杂，形成高性能的 P 型半导体层，其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压，对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案，可根据客户工艺需求，将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气，采用不锈钢管道输送，配备在线浓度监测与自动报警系统，确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后，GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V，开关电流提升 20%，成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。超高纯甲烷（杂质≤0.5ppm）是半导体刻蚀工艺的关键气体。江苏甲烷超高纯气体新能源

超高纯一氧化二氮（杂质≤1ppm）用作半导体掺杂工艺气体。江苏甲烷超高纯气体新能源

上海弥正针对航空航天与工业，打造涵盖超高纯氦气、氢气、氩气的特种气体解决方案，满足火箭发射、卫星推进、精密焊接等极端场景需求。超高纯氦气纯度达99.9999%，低于-85℃，可用于火箭燃料加压与系统检漏，其低沸点特性确保在极端低温环境下仍能保持气态；超高纯氢气纯度达6N级，作为卫星推进系统的燃料，能量密度高且燃烧产物无污染；超高纯氩气用于钛合金零部件焊接保护，避免高温氧化影响材料力学性能。所有气体均通过严格的高低温环境测试，在-50℃至60℃范围内均能稳定供应，气瓶采用级度材料制造，抗压强度达30MPa，防泄漏性能符合国际航空运输协会（IATA）标准。某航天企业应用后，火箭燃料系统检漏准确率达100%，钛合金焊接焊缝强度提升20%，卫星推进系统运行稳定性提高，完全满足航空航天领域对气体可靠性与安全性的战略要求。江苏甲烷超高纯气体新能源

上海弥正气体有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标，有组织有体系的公司，坚持于带领员工在未来的道路上大放光明，携手共画蓝图，在上海市等地区的电工电气行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源，也收获了良好的用户口碑，为公司的发展奠定的良好的行业基础，也希望未来公司能成为*****，努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量，我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息，斗志昂扬的的企业精神将**上海弥正气体供应和您一起携手步入辉煌，共创佳绩，一直以来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，员工精诚努力，协同奋取，以品质、服务来赢得市场，我们一直在路上！