中源绿净针对局部管控需求优化设计,其 FFU 与洁净度联动系统可实现单区域联动,通过在关键工位、设备周边部署监测点与 FFU,形成 “点对点” 管控单元,对该区域洁净度变化做出响应,避免整体调节导致的资源浪费。系统支持单区域参数配置,可根据不同区域的洁净要求、生产特性,设定专属的联动阈值、风速调节范围、响应速度等参数。在芯片测试车间的探针测试工位,周边 FFU 可根据该工位洁净度数据调节,避免对其他区域造成影响;在生物实验室的培养箱周边,单区域联动可维持局部高洁净环境,保障实验样本不受污染。适用场景包括精密制造工位、生产区域、实验室关键区域等,单区域联动响应精度达 ±0.01m/s 风速调节,监测点与 FFU 的距离可灵活调整(0.5-5 米),适配不同工位布局,同时支持单区域联动状态显示,管理人员可快速掌握各关键区域的管控情况,局部异常时不影响整体生产,提升管控的性与灵活性。中源绿净为 60 + 实验室动物房建模块化洁净室,氨浓度控制≤10ppm,动物健康率提升!苏州0.5um洁净室计数器校准规范

中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。百万级洁净室计数器中源绿净为 25 + 微电子洁净车间建模块化洁净室,空气分子污染控制达标,芯片性能提升!

中源绿净经过 1500 + 场景实测验证,其 FFU 与洁净度联动系统可实时捕捉洁净室微粒浓度数据(检测频率 1 次 / 秒),当浓度超出预设阈值时,自动向对应区域 FFU 发送风速调节指令,实现从低速运行(0.3m/s)到高速运行(0.6m/s)的无级调速,快速降低微粒浓度至合格范围。系统内置风速调节算法,可根据超标幅度智能匹配调节幅度,轻微超标时小幅提升风速,避免能耗浪费;严重超标时全额提速,确保快速达标。在半导体晶圆制造车间,当光刻区域洁净度超标时,系统可调节该区域 FFU 风速,30 秒内即可将 0.1μm 微粒浓度降至 ISO 1 级标准;在无菌制药 A 级洁净区,系统通过风速动态调节,维持区域内微粒浓度稳定,避免人工干预不及时导致的生产中断。适用场景包括对洁净度响应速度要求高的电子、制药、医疗等行业,系统风速调节精度达 ±0.02m/s,可根据洁净等级需求预设风速阈值范围,同时记录每次调节的时间、原因、效果等数据,便于追溯分析,联动过程无需人工操作,既提升管控效率,又减少人为失误。
中源绿净的洁净室环境监测系统,批量修改的优势在于提升参数调整效率与确保参数一致性。传统多设备参数修改需逐台登录操作,100 台设备需 4 小时,批量修改需 30 分钟,效率提升 87.5%;同时,批量修改可避免人工逐台操作导致的参数不一致(如某车间 10 台设备的预警阈值设置不同),确保各设备监测标准统一。例如某电子企业的封装车间新增 50 台设备,通过批量修改功能,一次性将采样间隔设为 5 秒、微粒预警阈值设为 1000 粒 /m³,30 分钟完成所有设备参数配置;某制药企业调整 GMP 车间的温湿度阈值,通过批量修改将 15 台设备的湿度预警阈值从 65% 降至 60%,确保所有车间标准一致,避免区域差异导致的合规风险。此外,系统支持参数修改记录自动归档,包括修改时间、修改人、修改前后参数、涉及设备,便于后续追溯与审计。中源绿净为 45 + 半导体车间建模块化洁净室,防静电指数达标率 100%,减少芯片损坏率!

中源绿净构建故障应急管控体系,其 FFU 与洁净度联动系统可实时监测 FFU 运行状态(电机转速、风机故障、通讯异常等),当某台 FFU 出现故障时,系统立即启动应急联动方案,自动调度周边 FFU 提升风速,弥补故障区域的洁净度防护缺口,同时发出故障报警并记录相关信息。应急联动响应时间小于 10 秒,可快速维持区域洁净度稳定,避免故障导致的环境恶化。在半导体光刻车间,若某台区域 FFU 故障,周边 FFU 可在 3 秒内启动提速,确保光刻工艺不受影响;在无菌制药车间,FFU 故障时应急联动可防止洁净度下滑,避免生产批次报废。适用场景包括对 FFU 可靠性要求高的洁净室,尤其是生产区域,系统支持故障 FFU 定位与维修提醒,自动生成故障处理建议(如替换备件型号、维修步骤),帮助工作人员快速修复,同时应急联动数据与故障记录自动关联,便于分析故障原因与优化联动策略,降低故障对生产的影响。中源绿净的模块化洁净室,FFU 运行噪音≤50dB,为 25 + 企业营造安静工作环境!洁净室检测标准对照表
中源绿净模块化洁净室,可定制高度达 3.5m,为 40 + 企业满足大型设备安装需求!苏州0.5um洁净室计数器校准规范
中源绿净的洁净室环境监测系统,在数据传输过程中,系统采用端到端加密技术,从传感器采集数据到云端存储的全链路均通过 AES-256 加密算法保护,防止数据在传输过程中被窃取或篡改。同时,系统具备断点续传功能,若因网络中断导致数据传输暂停,恢复连接后会自动补传中断期间的历史数据,确保数据完整性。例如某新能源企业的电池电芯生产车间,曾因临时断电导致网络中断 2 小时,恢复供电后,系统自动补传了中断期间的微粒浓度与温湿度数据,未出现数据缺失,保障了生产过程的环境数据追溯。苏州0.5um洁净室计数器校准规范