中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净为 55 + 光电企业打造模块化洁净室，照度均匀度达 85%，提升产品检测精度！十万级洁净室检测标准对照表
中源绿净的洁净室环境监测系统，具备设备状态自动巡检功能，可定时对所有部署的监测设备进行状态检测，无需人工逐台检查，大幅减少运维工作量，同时及时发现设备异常，避免监测中断。自动巡检的检测内容包括设备在线状态（是否联网）、硬件健康状态（传感器、电源、通信模块是否正常）、数据采集状态（是否正常采集微粒、温湿度数据）、存储状态（本地 SD 卡 / 云端存储是否正常），巡检周期可自定义（如每小时 1 次、每 4 小时 1 次），巡检结果实时反馈至管理平台。苏州洁净室洁净室检测中源绿净模块化洁净室，空调系统节能率达 25%，为 20 + 企业实现绿色低碳生产！
中源绿净针对多等级洁净需求设计，其 FFU 与洁净度联动系统可自适应 ISO 1 级至 ISO 9 级洁净等级，自动匹配不同等级的联动策略：高洁净等级（ISO 1-3 级）采用高频监测（1 次 / 秒）与快速调节，维持极低微粒浓度；中低洁净等级（ISO 4-9 级）采用常规监测与节能联动，平衡管控与能耗。系统支持洁净等级手动切换与自动识别，当洁净室用途变更时，可快速适配新等级的联动参数。在航天制造的 ISO 1 级洁净室，系统通过 FFU 高频联动调节，确保 0.1μm 微粒浓度稳定；在电子组装的 ISO 8 级洁净室，系统采用间歇式联动模式，洁净度达标时降低 FFU 运行负荷；在食品加工的 ISO 9 级洁净区，系统可采用能耗联动策略，满足基础洁净要求。适用场景覆盖各类洁净等级的场所，包括航天制造、电子、食品、科研等行业，系统内置不同等级的标准联动参数库，切换等级时可直接调用，无需重新配置，同时支持等级变化趋势分析，帮助管理人员预判洁净度变化，提前调整 FFU 联动策略，避免等级下滑。
中源绿净助力洁净室过滤系统优化，其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 过滤效率洁净度联动验证功能，可通过在 FFU 出风口、回风区部署监测点，同步检测不同位置的微粒浓度，自动计算 FFU 过滤器的过滤效率，为过滤器的维护与更换提供数据依据。系统支持不同粒径微粒的过滤效率分析，可帮助判断过滤器对特定粒径微粒的过滤能力，当效率下降至设定阈值时，自动发出更换提醒并调整 FFU 联动策略（如适当提升风速补偿过滤效率不足）。在洁净室新 FFU 安装后，系统可快速验证其过滤效率是否符合设计要求，确保联动基础可靠；在现有 FFU 的日常运行中，系统可持续监测过滤效率变化，避免因过滤器堵塞导致的洁净度下滑。适用场景包括洁净室 FFU 维护、新 FFU 验收、洁净区过滤系统优化等，系统支持生成过滤效率联动验证报告，包含检测时间、FFU 编号、各粒径过滤效率、合格判定等信息，可直接用于 FFU 维护记录，同时检测过程无需专业的效率测试设备，降低验证成本，联动验证与过滤系统维护计划结合，可延长 FFU 使用寿命，降低运营成本。中源绿净为 20 + 生物制药厂打造模块化洁净室，符合 FDA 标准，产品出口通过率 100%！
中源绿净的洁净室环境监测系统，依托多协议通信技术打造高效的实时数据传输体系，并通过云端同步功能实现数据的集中管理与灵活调用，让用户摆脱本地设备的限制，随时随地掌握洁净环境动态。该系统支持以太网、4G/5G、LoRa、Wi-Fi 等多种传输方式，用户可根据现场网络条件选择适配方案：车间内布线完善的场景可优先采用以太网，传输速率达 100Mbps，数据延迟控制在 100 毫秒以内；户外或布线困难的区域可选用 4G/5G 无线传输，覆盖范围广且无需额外布线；洁净车间内对信号干扰敏感的场景，则可通过 LoRa 低功耗传输技术，在保障数据稳定的同时减少电磁干扰。中源绿净模块化洁净室，能耗监测系统可节能 18%，为 50 + 企业年省电费超 5 万元！万级车间洁净室计数器结果怎么看
中源绿净为 20 + 纳米材料厂打造模块化洁净室，粒径≥0.1μm 粒子控制达标，材料纯度提升！十万级洁净室检测标准对照表
中源绿净的洁净室环境监测系统，适用场景包括关注能耗成本的洁净室企业，如电子半导体、制药、食品、医疗，尤其适用于大型洁净园区。在电子半导体企业中，能耗统计帮助优化 FFU 与空调运行参数；在制药企业中，分析帮助平衡能耗与洁净度达标；在食品企业中，能耗统计降低洁净加工的生产成本；在大型医疗园区中，汇总分析各洁净区域能耗，实现整体节能。能耗统计分析功能让系统从 “环境监测” 拓展至 “能耗管控”，为用户提供经济、高效的洁净管理方案。十万级洁净室检测标准对照表
