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晶圆键合基本参数
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  • 芯辰实验室,微纳加工
  • 服务项目
  • 齐全
晶圆键合企业商机

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该研究所将晶圆键合技术与半导体材料回收再利用的需求相结合,探索其在晶圆减薄与剥离工艺中的应用。在实验中,通过键合技术将待处理晶圆与临时衬底结合,为后续的减薄过程提供支撑,处理完成后再通过特定工艺实现两者的分离。这种方法能有效减少晶圆在减薄过程中的破损率,提高材料的利用率。目前,在 2-6 英寸晶圆的处理中,该技术已展现出较好的适用性,材料回收利用率较传统方法有一定提升。这些研究为半导体产业的绿色制造提供了技术支持,也拓展了晶圆键合技术的应用领域。


晶圆键合实现固态相变制冷器的多级热电结构高效集成。山西高温晶圆键合实验室

围绕第三代半导体器件需求,研究晶圆键合精度对器件性能的影响。东莞高温晶圆键合技术

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