中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净模块化洁净室，可集成在线监测系统，为 35 + 企业实时预警环境异常！深圳0.5um洁净室监测
中源绿净智能洁净室物联网平台，具备与医疗行业监管平台（如国家医院监测平台、地方卫生健康部门监管系统）的数据对接能力，可按监管要求自动上传手术部洁净度监测数据（粒子浓度、浮游菌浓度、温湿度、气流速度）、设备运行数据（空调系统运行参数、消毒设备使用记录），数据上传成功率≥99.5%，上传延迟≤5 分钟。医院手术部洁净度管理需接受医疗行业监管部门的定期检查与数据核查，若无法及时、准确上传监测数据，可能面临监管处罚 —— 某医院曾因手动上传数据存在延迟与错误，被监管部门通报批评，影响医院评级。该平台通过自动对接监管平台，无需人工干预即可完成数据上传，确保数据的及时性与准确性；同时，平台可根据监管部门的要求（如新增监测参数、调整数据上传频率），快速更新对接方案，避免因监管要求变化导致的数据上传中断。深圳0.5um洁净室计数器使用步骤中源绿净为 25 + 疫苗冷库配套模块化洁净室，过渡区设计减少冷量损失 25%！
中源绿净的洁净室环境监测系统，具备洁净度达标率自动分析功能，可按日、周、月、年统计各洁净区域、各监测指标的达标情况，生成达标率报表与趋势图，帮助用户掌握洁净管理水平、识别薄弱环节、优化管控措施，同时为内部考核与外部审计提供数据支持。系统的达标率计算基于预设的行业标准或企业自定义阈值，例如按 ISO 14644 标准，统计 A 级洁净区 0.5μm 微粒浓度的达标时间占比；计算维度包括区域达标率（如车间 A 的日均达标率）、指标达标率（如 0.5μm 微粒的月度达标率）、设备达标率（如某台设备监测数据的达标率），达标率结果以百分比展示，同时标注未达标时段与原因（如 “8 月 5 日 14:00-15:00 因设备维护导致超标”）。
中源绿净依托物联网技术构建集群联动架构，其 FFU 与洁净度联动系统支持 500 台以上 FFU 按区域分组联动，可根据洁净室布局、生产工序划分多个联动集群，每个集群响应区域内洁净度变化，同时集群间可实现协同调度，避一区域调节对整体环境的影响。系统平台可直观展示各集群 FFU 运行状态与洁净度数据，支持集群参数统一配置与单独调整，满足差异化管理需求。在大型半导体产业园，可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节划分联动集群，生产集群采用高频监测与快速调节，辅助区域集群采用节能联动模式；在综合性医疗洁净区，可按手术室、ICU、实验室等分组，不同集群适配不同洁净等级的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多区域生产车间、产业园区等，系统集群联动响应时间小于 5 秒，支持集群间数据共享，当某一集群洁净度异常时，相邻集群可提前预警并调整运行状态，形成防护屏障，同时具备负载均衡功能，避免多台 FFU 同时高速运行导致的能耗峰值，实现管控效果与节能目标的平衡。中源绿净模块化洁净室，空调系统响应时间≤3 分钟，为 45 + 企业快速调整环境参数！
中源绿净构建闭环式环境管控体系，其 FFU 与洁净度联动系统可与格力、美的、大金等主流品牌洁净空调系统协同联动，通过实时检测数据自动调节 FFU 风速与空调运行参数（新风量、回风比例、风机转速），形成 “FFU 局部调节 + 空调整体环境优化” 的协同模式，实现洁净环境的动态平衡。协同联动逻辑可自定义设置，支持按洁净等级、时间段、生产状态等条件设定触发阈值，避一设备过度运行导致的能耗浪费。在制药车间的生产高峰期，系统可同步提升 FFU 风速与空调新风量，快速响应环境波动；在夜间非生产时段，系统可同步降低 FFU 风速与空调运行负荷，维持基础洁净度的同时化节能。适用场景包括配备洁净空调系统的各类洁净室，协同联动响应时间小于 8 秒，可快速将超标环境恢复至合格状态，同时系统自动记录协同联动过程中的所有数据，包括触发时间、调整参数、环境恢复时长、能耗变化等，便于管理人员分析运行效率，进一步优化协同策略，降低整体运营成本。中源绿净模块化洁净室，墙面耐擦洗次数达 10000+，为 35 + 食品厂便于清洁维护！苏州模块化洁净室监测
中源绿净模块化洁净室，地面防静电电阻稳定在 10⁶-10⁹Ω，为 40 + 电子厂减少静电损害！深圳0.5um洁净室监测
中源绿净助力洁净室过滤系统优化，其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 过滤效率洁净度联动验证功能，可通过在 FFU 出风口、回风区部署监测点，同步检测不同位置的微粒浓度，自动计算 FFU 过滤器的过滤效率，为过滤器的维护与更换提供数据依据。系统支持不同粒径微粒的过滤效率分析，可帮助判断过滤器对特定粒径微粒的过滤能力，当效率下降至设定阈值时，自动发出更换提醒并调整 FFU 联动策略（如适当提升风速补偿过滤效率不足）。在洁净室新 FFU 安装后，系统可快速验证其过滤效率是否符合设计要求，确保联动基础可靠；在现有 FFU 的日常运行中，系统可持续监测过滤效率变化，避免因过滤器堵塞导致的洁净度下滑。适用场景包括洁净室 FFU 维护、新 FFU 验收、洁净区过滤系统优化等，系统支持生成过滤效率联动验证报告，包含检测时间、FFU 编号、各粒径过滤效率、合格判定等信息，可直接用于 FFU 维护记录，同时检测过程无需专业的效率测试设备，降低验证成本，联动验证与过滤系统维护计划结合，可延长 FFU 使用寿命，降低运营成本。深圳0.5um洁净室监测
