中源绿净深耕光刻工艺监测需求，其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计，整合高精度联动功能，支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测，通过 FFU 高精度无级调速（调节精度 ±0.01m/s），维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计，可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动，检测数据不受干扰，FFU 采用低振动设计，运行振动幅度小于 0.05mm，避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间，光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感，系统可通过 FFU 联动，快速消除人员移动、设备运行产生的微粒；在 LCD/OLED 面板光刻车间，系统可分布式部署 FFU 联动单元，覆盖不同光刻工位，确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等，系统支持与光刻设备联动控制，当洁净度异常时，可同步暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净为 35 + 精密轴承厂打造模块化洁净室，粉尘导致的磨损率下降 60%，延长寿命！苏州千级洁净室测试国家标准
中源绿净经过 1500 + 场景实测验证，其 FFU 与洁净度联动系统可实时捕捉洁净室微粒浓度数据（检测频率 1 次 / 秒），当浓度超出预设阈值时，自动向对应区域 FFU 发送风速调节指令，实现从低速运行（0.3m/s）到高速运行（0.6m/s）的无级调速，快速降低微粒浓度至合格范围。系统内置风速调节算法，可根据超标幅度智能匹配调节幅度，轻微超标时小幅提升风速，避免能耗浪费；严重超标时全额提速，确保快速达标。在半导体晶圆制造车间，当光刻区域洁净度超标时，系统可调节该区域 FFU 风速，30 秒内即可将 0.1μm 微粒浓度降至 ISO 1 级标准；在无菌制药 A 级洁净区，系统通过风速动态调节，维持区域内微粒浓度稳定，避免人工干预不及时导致的生产中断。适用场景包括对洁净度响应速度要求高的电子、制药、医疗等行业，系统风速调节精度达 ±0.02m/s，可根据洁净等级需求预设风速阈值范围，同时记录每次调节的时间、原因、效果等数据，便于追溯分析，联动过程无需人工操作，既提升管控效率，又减少人为失误。深圳无尘室洁净室颗粒物在线监测中源绿净模块化洁净室，隔音效果达 45dB，为 40 + 声学实验室降低外界噪音干扰！
中源绿净通过 200 + 合规项目验证，其 FFU 与洁净度联动系统完全符合 GMP、ISO 14644、FDA 等行业规范，可自动记录 FFU 运行参数（风速、运行时长、故障信息）、洁净度检测数据、联动调节记录等合规所需信息，生成不可篡改的合规报告，支持按日、周、月自动导出。系统内置合规阈值库，可预设不同洁净等级的联动判定标准，自动判定联动行为是否符合规范，当出现合规风险时提前预警。在无菌药品生产企业，系统可完整记录 A 级 / B 级 / C 级 / D 级洁净区 FFU 与洁净度的联动数据，满足 GMP 对数据追溯的严格要求，监管部门检查时可直接调取报告；在医疗器械生产车间，系统可关联 FFU 联动记录与产品生产批次，为产品注册审核提供数据支撑。适用场景包括制药、医疗、食品等合规要求严格的行业，中源绿净可提供合规性认证报告，系统支持校准记录与联动数据自动关联，确保报告有效性，同时操作日志完整记录所有参数调整、报告导出行为，便于追溯审核，帮助企业轻松通过监管检查。
中源绿净降低维护成本，其 FFU 与洁净度联动系统具备 FFU 设备自诊断与洁净度联动预警功能，可实时监测 FFU 电机、风机、过滤器、传感器等组件的运行状态，自动识别故障（如电机过载、过滤器堵塞、传感器失效等），并发出维护预警，同时调整联动策略（如调度周边 FFU 弥补故障区域）。系统支持故障分级预警，轻微故障（如过滤器轻微堵塞）推送至操作员，严重故障（如电机故障）同步至技术人员与管理人员，确保及时处理。在制药车间，FFU 故障可能影响合规监测，自诊断功能可提前预警，避免检测中断；在大型园区，多 FFU 管理中自诊断可帮助快速定位故障设备，减少维护时间；在偏远地区车间，故障预警可让技术人员提前准备配件，提高维护效率。适用场景包括所有使用该系统的洁净室，尤其是设备数量多、维护难度大的场所，系统内置故障处理知识库，包含常见故障的原因分析与解决步骤，操作人员可根据提示自行处理简单故障，故障记录自动存储，便于维护统计与系统优化。中源绿净模块化洁净室，能耗监测系统可节能 18%，为 50 + 企业年省电费超 5 万元！
中源绿净优化区域管控效率，其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 分组联动，可根据洁净室功能分区、洁净等级、生产工序将 FFU 划分为多个联动组，每个组响应区域内的洁净度变化，组内 FFU 协同调节，组间互不干扰，实现管控。系统支持组内 FFU 参数统一配置与单独调整，可根据各组需求设定差异化的联动阈值、风速范围、响应速度，平台可直观展示各组联动状态与洁净度数据。在大型电子制造车间，可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节分组，生产组采用高频联动，辅助组采用节能联动；在综合性医院洁净区，可按手术室、ICU、实验室分组，不同组适配不同的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多功能分区车间、复杂生产中源绿净模块化洁净室，可集成 FFU 数量达 100+，为 15 + 微电子产品车间均匀送风！江苏模块化洁净室洁净度监测
中源绿净模块化洁净室，空调系统响应时间≤3 分钟，为 45 + 企业快速调整环境参数！苏州千级洁净室测试国家标准
中源绿净的洁净室环境监测系统，支持操作日志一键导出功能，可将所有用户对系统的操作记录（如参数修改、设备控制、数据查询）导出为规范文件，便于内部管理审计、合规检查与操作追溯，避免因操作不当导致的环境监测异常。系统的操作日志记录内容包括操作时间、操作人（账号名称）、操作类型（如 “修改采样间隔”“调整预警阈值”“导出数据”“重启设备”）、操作内容（修改前 / 后参数、操作结果）、操作 IP 地址，确保每一次操作都可追溯到个人与终端。导出格式支持 Excel、PDF、CSV 三种常用格式，导出时可选择任意时间段（如近 1 天、近 7 天、自定义日期范围），同时支持按操作人、操作类型筛选日志，减少无效信息。苏州千级洁净室测试国家标准
