企业商机
加热盘基本参数
  • 品牌
  • 无锡国瑞热控
  • 型号
  • 非标定制
  • 类型
  • 元素半导体材料,化合物半导体材料
  • 材质
  • 6061-T6,陶瓷,金属等
  • 产品名称
  • 晶圆加热盘
  • 产地
  • 江苏无锡
  • 厂家
  • 无锡国瑞热控
加热盘企业商机

为降低半导体加热盘的热量损耗,国瑞热控研发**隔热组件,通过多层复合结构设计实现高效保温!组件内层采用耐高温隔热棉,热导率*0.03W/(m・K),可有效阻隔加热盘向设备腔体的热量传递;外层选用金属防护壳,兼具结构强度与抗腐蚀性能,适配半导体洁净车间环境!隔热组件与加热盘精细贴合,安装拆卸便捷,不影响加热盘的正常维护与更换!通过隔热组件应用,可使加热盘热量利用率提升15%以上,降低设备整体能耗,同时减少设备腔体温升,延长周边部件使用寿命!适配国瑞全系列半导体加热盘,且可根据客户现有加热盘尺寸定制,为半导体生产线的能耗优化提供实用解决方案!结构紧凑安装便捷,多重安全保护,使用安心无顾虑。北京晶圆级陶瓷加热盘生产厂家

北京晶圆级陶瓷加热盘生产厂家,加热盘

依托强大的研发与制造能力,国瑞热控提供全流程半导体加热盘定制服务,满足特殊工艺与设备的个性化需求!可根据客户提供的图纸与参数,定制圆形、方形等特殊形状加热盘,尺寸覆盖4英寸至18英寸晶圆规格!材质可选择铝合金、氮化铝陶瓷、因瓦合金等多种类型,加热方式支持电阻加热、红外加热及复合加热模式,温度范围与控温精度按需设定!通过三维建模与温度场仿真优化设计方案,原型样品交付周期缩短至15个工作日,批量生产前提供2台样品进行工艺验证!已为长鑫存储、华虹半导体等企业定制**加热盘,适配其自主研发设备,助力国产半导体设备产业链完善!河北探针测试加热盘非标定制细节处精心设计,接口布线密封优良,性能稳定持久。

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国瑞热控高真空半导体加热盘,专为半导体精密制造的真空环境设计,实现无污染加热解决方案!产品采用特殊密封结构与高纯材质制造,所有部件均经过真空除气处理,在10⁻⁵Pa高真空环境下无挥发性物质释放,避免污染晶圆表面!加热元件采用嵌入式设计,与基材紧密结合,热量传递损耗降低30%,热效率***提升!通过内部温度场模拟优化,加热面均温性达±1℃,适配光学器件镀膜、半导体晶圆加工等洁净度要求严苛的场景!设备可耐受反复升温降温循环,在-50℃至500℃温度区间内结构稳定,为高真空环境下的精密制造提供符合洁净标准的温控保障!

面向半导体实验室研发场景,国瑞热控小型加热盘以高精度与灵活性成为科研得力助手!产品尺寸可定制至10cm×10cm,适配小规格晶圆与实验样本的加热需求,温度调节范围覆盖室温至500℃,**小调节精度达1℃!采用陶瓷加热元件与铂电阻传感器组合,控温稳定性达±0.5℃,满足材料研发中对温度参数的精细控制!设备支持USB数据导出功能,可实时记录温度变化曲线,便于实验数据追溯与分析!整体采用便携式设计,重量*1.5kg,且具备过热保护功能,当温度超过设定阈值时自动断电,为半导体新材料研发、工艺参数优化等实验工作提供可靠温控工具!持续改进服务理念,听取客户反馈,不断提升产品性能。

北京晶圆级陶瓷加热盘生产厂家,加热盘

面向深紫外光刻工艺对晶圆预处理的需求,国瑞热控配套加热盘以微米级温控助力图形精度提升!采用铝合金基体与石英玻璃复合结构,加热面平面度误差小于0.01mm,确保晶圆与光刻掩膜紧密贴合!通过红外加热与接触式导热协同技术,升温速率达15℃/分钟,温度调节范围60℃-120℃,控温精度±0.3℃,适配光刻胶软烘、坚膜等预处理环节!表面经防反射涂层处理,减少深紫外光反射干扰,且具备快速冷却功能,从120℃降至室温*需8分钟,缩短工艺间隔!与上海微电子光刻机适配,使光刻图形线宽偏差控制在5nm以内,满足90nm至28nm制程的精密图形定义需求!大小功率齐全覆盖广,灵活匹配实验装置与工业设备需求。重庆探针测试加热盘定制

专业售后服务团队,快速响应及时处理,保障您的生产不间断。北京晶圆级陶瓷加热盘生产厂家

针对半导体载板制造中的温控需求,国瑞热控**加热盘以高稳定性适配载板钻孔、电镀等工艺!采用不锈钢基材经硬化处理,表面硬度达HRC50以上,耐受载板加工过程中的机械冲击无变形!加热元件采用蛇形分布设计,加热面温度均匀性达±1℃,温度调节范围40℃-180℃,适配载板预加热、树脂固化等环节!配备真空吸附系统,可牢固固定不同尺寸载板(50mm×50mm至300mm×300mm),避免加工过程中位移导致的精度偏差!与深南电路、兴森快捷等载板厂商合作,支持BT树脂、玻璃纤维等不同材质载板加工,为Chiplet封装、扇出型封装提供高质量载板保障!北京晶圆级陶瓷加热盘生产厂家

无锡市国瑞热控科技有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标,有组织有体系的公司,坚持于带领员工在未来的道路上大放光明,携手共画蓝图,在江苏省等地区的电工电气行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源,也收获了良好的用户口碑,为公司的发展奠定的良好的行业基础,也希望未来公司能成为*****,努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量,我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息,斗志昂扬的的企业精神将**无锡市国瑞热控科技供应和您一起携手步入辉煌,共创佳绩,一直以来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,员工精诚努力,协同奋取,以品质、服务来赢得市场,我们一直在路上!

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