真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用***的仪表。真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。真空计可分为***真空计和相对真空计两大类。一、***真空计能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。***真空计测量精度较高，主要用作基准量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端与待测压力的真空容器相连，另一端是封死的或开口与大气相通。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。测量范围：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.压缩式真空计(麦克劳真空计)原理：把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量的程度。 为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。什么是真空计用途
真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 什么样真空计一般多少钱真空计测量精度较高，主要用作基准量具。
Torr至大气压（760Torr），适合低真空至中真空。优点：结构简单、成本低、响应快。局限性：对气体种类敏感（不同气体的热传导系数不同，需校准）。高真空下精度下降（因热传导主要依赖残余气体，信号微弱）。2.电离真空计（IonizationGauge）原理：基于气体电离效应。包括热阴极电离计（如三极管型）和冷阴极电离计（如潘宁计）。热阴极型：阴极发射电子，电子撞击气体分子使其电离（产生正离子和电子）。收集极捕获正离子，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。通过测量离子电流推算真空度。
利用气体动力学效应的真空计：皮拉尼（Pirani）电阻规：利用电阻与温度之间关系的原理工作，通过测量热丝电阻大小推算气压大小。其测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热电偶规：与皮拉尼电阻规基本原理一致，但使用热电偶直接测量热丝的温度变化。测量范围也一般在0.1Pa至1000Pa。利用带电粒子效应的真空计：热阴极电离规：由热阴极发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，通过测量离子电流的大小推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。其测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。冷阴极电离规：利用磁控放电电离气体分子产生离子，再进***压测量。其测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。相关商品品质精选、专业服务对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。
结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件：热偶规管采用玻璃外壳，内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶，通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构，包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极，灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号（如ZDF-1A/B）还集成金属电阻规，形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器，实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa真空计可分为真空计和相对真空计两大类。什么样真空计一般多少钱
使用电离规时，按电离真空计操作执行。什么是真空计用途
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。什么是真空计用途
