工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。认可真空计供应商
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 服务真空计销售方法把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量真空计的程度。
可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。
电离真空计的构造与测量机制电离真空计是一种广泛应用于真空度测量的仪器，其工作原理基于气体分子的电离。根据气体电离源的不同，电离真空计可分为热阴极和冷阴极两大类。电离真空计通过气体电离产生离子流测量压强，类型多样，适合不同真空度范围。该仪器主要由三个电极组成：发射电子的灯丝作为发射极A，负责加速电子的栅极（或称为加速极）B，以及收集离子的圆筒型电极C。电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。稳定性的提高使得皮拉尼真空计获得更为广扩的应用。梅思安真空计推荐咨询
真空计利用气体在低压力下的热传导、电离、粘滞性和应变等物理特性与压力的关系间接测量气体压力。认可真空计供应商
《实时焦点测量仪校准规范》征求意见稿发布 真空计实时焦点测量仪是一种采用敏感元件直接感应射线强度分布从而测量X射线机焦点大小的仪器。今年3月，国家质量监督检验检疫总局发布《实时焦点测量仪校准规范》征求意见稿，规程包括封面、扉页、目录、引言、范围、引用文件、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、复校时间间隔、附录几个部分。并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。认可真空计供应商
