面向柔性半导体基板(如聚酰亚胺基板)加工需求,国瑞热控**加热盘以柔性贴合设计适配弯曲基板。采用薄型不锈钢加热片(厚度 0.2mm)与硅胶导热层复合结构,可随柔性基板弯曲(弯曲半径**小 5mm)而无结构损坏,加热面温度均匀性达 ±1.5℃,温度调节范围 50℃-250℃,适配柔性基板镀膜、光刻胶烘烤等工艺。配备真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加热过程中褶皱导致的工艺缺陷。与维信诺、柔宇科技等柔性显示厂商合作,支持柔性 OLED 驱动芯片的制程加工,为柔性电子设备的轻量化、可弯曲特性提供制程保障。专业热仿真分析,优化热场分布设计,确保加热效果均匀。宝山区加热盘供应商

国瑞热控光刻胶烘烤加热盘以微米级温控精度支撑光刻工艺,采用铝合金基体与陶瓷覆层复合结构,表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm,减少光刻胶涂布缺陷。加热面划分 6 个**温控区域,通过仿真优化的加热元件布局,使温度均匀性达 ±0.5℃,避免烘烤过程中因温度差异导致的光刻胶膜厚不均。温度调节范围覆盖 60℃至 150℃,升温速率 10℃/ 分钟,搭配无接触红外测温系统,实时监测晶圆表面温度并动态调节。设备兼容 6 英寸至 12 英寸光刻机配套需求,与 ASML、尼康等设备的制程参数匹配,为光刻胶的软烘、坚膜等关键步骤提供稳定温控环境。青浦区晶圆级陶瓷加热盘生产厂家严格质量管理体系,ISO认证工厂生产,品质有保障。

电控晶圆加热盘:半导体工艺的准确温控重点。无锡国瑞热控的电控晶圆加热盘,以创新结构设计解释半导体制造的温控难题。其底盘内置螺旋状发热电缆与均温膜,通过热量传导路径优化,使加热面均温性达到行业高标准,确保晶圆表面温度分布均匀,为光刻胶涂布等关键工艺提供稳定环境。搭配高精度温度传感器与限温开关,温度波动可控制在极小范围,适配 6 英寸至 12 英寸不同规格晶圆需求。设备采用卡接组件连接上盘与底盘,通过转盘驱动齿轮结构实现快速拆装,大幅降低检修维护的停机时间,完美契合半导体量产线的高效运维需求。
国瑞热控 8 英寸半导体加热盘聚焦成熟制程需求,以高性价比与稳定性能成为中低端芯片制造的推荐。采用铝合金基体经阳极氧化处理,表面平整度误差小于 0.03mm,加热面温度均匀性控制在 ±2℃以内,满足 65nm 至 90nm 制程的温度要求。内部采用螺旋状镍铬加热丝,热效率达 85% 以上,升温速率 15℃/ 分钟,工作温度上限 450℃,适配 CVD、PVD 等常规工艺。设备配备标准真空吸附接口与温控信号端口,可直接替换 ULVAC、Evatec 等国际品牌同规格产品,安装无需调整现有生产线布局。通过 1000 小时高温老化测试,故障率低于 0.1%,为功率器件、传感器等成熟制程芯片制造提供稳定支持。重视客户反馈,持续改进产品服务,体验专业高效合作。

国瑞热控高真空半导体加热盘,专为半导体精密制造的真空环境设计,实现无污染加热解决方案。产品采用特殊密封结构与高纯材质制造,所有部件均经过真空除气处理,在 10⁻⁵Pa 高真空环境下无挥发性物质释放,避免污染晶圆表面。加热元件采用嵌入式设计,与基材紧密结合,热量传递损耗降低 30%,热效率***提升。通过内部温度场模拟优化,加热面均温性达 ±1℃,适配光学器件镀膜、半导体晶圆加工等洁净度要求严苛的场景。设备可耐受反复升温降温循环,在 - 50℃至 500℃温度区间内结构稳定,为高真空环境下的精密制造提供符合洁净标准的温控保障。电热转换效率高,降低运营成本,实现绿色生产。苏州探针测试加热盘厂家
工业级耐用加热盘,耐腐蚀抗冲击,适应严苛工况环境。宝山区加热盘供应商
针对车载半导体高可靠性需求,国瑞热控测试加热盘适配 AEC-Q100 标准。采用**级铝合金基材,通过 - 55℃至 150℃高低温循环测试 5000 次无变形,加热面平整度误差小于 0.03mm。温度调节范围覆盖 - 40℃至 200℃,升降温速率达 30℃/ 分钟,可模拟车载芯片在极端环境下的工作状态。配备 100 组可编程温度曲线,支持持续 1000 小时老化测试,与比亚迪半导体、英飞凌等企业适配,通过温度冲击、湿热循环等可靠性验证,为新能源汽车电控系统提供质量保障。宝山区加热盘供应商
无锡市国瑞热控科技有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在江苏省等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同无锡市国瑞热控科技供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!
依托强大的研发与制造能力,国瑞热控提供全流程半导体加热盘定制服务,满足特殊工艺与设备的个性化需求!可根据客户提供的图纸与参数,定制圆形、方形等特殊形状加热盘,尺寸覆盖4英寸至18英寸晶圆规格!材质可选择铝合金、氮化铝陶瓷、因瓦合金等多种类型,加热方式支持电阻加热、红外加热及复合加热模式,温度范围与控温精度按需设定!通过三维建模与温度场仿真优化设计方案,原型样品交付周期缩短至15个工作日,批量生产前提供2台样品进行工艺验证!已为长鑫存储、华虹半导体等企业定制**加热盘,适配其自主研发设备,助力国产半导体设备产业链完善!精密温控系统加持,温度波动范围小,为科研实验提供可靠热源保障。金山区刻蚀晶圆加...