3.皮拉尼真空计皮拉尼真空计是一种电阻式真空计，其工作原理是利用气体分子的热传导作用对细金属丝（通常为铂丝）的温度产生影响，从而改变其电阻值。皮拉尼真空计适用于低真空和中真空范围的测量，具有结构简单、价格低廉、响应速度快等优点。综上所述，不同类型的真空计各有其特点和适用情境。在选择真空计时，应根据实际需求综合考虑测量范围、精度、稳定性、便携性以及价格等因素。希望本文的介绍能对读者在选用真空计时提供有益的参考为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。AKS真空计技术参数
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 本地真空计进货价对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。
工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用：1.热偶真空计加热电流恒定状态下，热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小，通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子，经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流，该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接：当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时，自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能，防止频繁启停损坏灯丝 [1]被测气体是否会损伤真空计；真空计可否会给被测气体状态带来影响。
电阻真空计的原理与应用电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。在低压环境下，气体的热传导特性与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立起电阻与压强的对应关系。该仪器的主要构成部分包括规管中的加热灯丝，通常采用电阻温度系数较高的钨丝或铂丝。电阻真空计通过测量热丝电阻变化来确定真空度，其结果依赖于气体种类且存在测量范围限制。测量范围通常在105～10-2Pa之间。薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。综合真空计供应商
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。AKS真空计技术参数
半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布 半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。AKS真空计技术参数
