对于半导体行业来说，圆晶测量和缺陷检测都是半导体生产的关键环节，检测和控制生产中的每一步生产质量。为了显微测量，马波斯提供2D光谱共焦线扫相机。在超高分辨率和超大景深应用中，可在Z轴上准确聚焦。因此，这是检测圆晶缺陷的理想选择，例如，圆晶沿的检测和封装期间的检测。这些传感器都允许集成在测量和检测设备中。马波斯和STIL在数十年的发展中积累了丰富的经验，可为用户提供量身定制解决方案和的光学设计。马波斯的小横向分辨率为0.4μm*0.4μm，大倾斜角为+/-45°，0.75数值孔径。EOL测试可提供完整的功能测试,包括满足市场标准的NVH分析。还可提供实验室环境下。自动光学检测设备
在半导体行业，圆晶减薄当然是非常精密的加工过程。在减薄过程中，需要用接触式或非接触式传感器严格控制加工过程。从步骤来看，封装前，圆晶需要达到正确的厚度，这是半导体生产的关键。圆晶背面研磨（圆晶减薄）是一种半导体生产工序，在此期间需要严格控制圆晶厚度，使圆晶达到超薄的厚度，可叠放和高密度封装在微型电子器件中。马波斯传感器甚至可检测到砂轮与圆晶接触的瞬间或检查任何过载。同时，马波斯传感器可在干式和湿式环境中可靠地在线测量厚度。氦气检漏MARPOSS局部放电绝缘测试（PDIV测试）能够识别相间或相与定子主体之间的潜在绝缘缺陷。
MARPOSS提供电池生产过程中所有阶段的泄漏测试和漏点探测解决方案，单个电芯的真空箱氦检，电池包组件（如冷却管&冷却板）的氦气泄漏和漏点探测解决方案，在组装完成后，通过压降法/流量法或示踪气体测试法，对大体积模组、电池包和外壳（包括电气元件）进行泄漏测试。在进行电池托盘，盖板和电池包的泄漏测试的过程中，安装完成的电池模组装到电池外壳内，并检测泄漏（漏率在10-3scc/s范围内）。当采用水/乙醇混合物作为冷却剂时泄漏率在10-3scc/s范围内，而采用气体作为冷却剂时泄漏率在10-5scc/s范围内。
Optoquick是世界上同类产品中一直面对挑战并结合了接触测量传感器和自动触针更换系统的解决方案。在相同的测量周期内,接触式感应针可自动换型,以便使用合适的针型进行任何特定的测量。通过这样的解决方案,Optoquick被定位为一个集多种功能于一体的柔性解决方案,因为它可以提供高级的测量功能,并使传统测量产品无法解决的测量成为可能。全新的Optoquick是传动轴测量的完美解决方案，其中花键、齿轮，如OBR，ODB，节距跳动都可被测量。E.D.C.自1998年以来开发的用于局部放电绝缘测试的方法基于电容耦合技术。
Optoquick让操作变得更高效。Optoquick减少了生产过程中，浪费在零件验证上的时间。Optoquick的操作不但快速，而且可将它直接安装在生产机床旁，消除了昂贵的工件物流成本。使用Optoquick提高了生产率，并可对生产高峰进行管理。因此，可在数月之内获取投资回报。除此之外，还可以提高生产质量水平。Optoquick在生产机床旁安装，从而可更加频繁进行工件的测量验证与确认。因此，Optoquick可提升质量保障，在一定程度减少废件的生产。马波斯总流量测试带来以下好处，减少系统的响应时间并确保减少因大泄漏造成的腔室污染。氦气密封性检测
在燃料电池组的流动板方面，马波斯Hetech目前正在制造一个配备4个腔室的系统，以满足客户的高生产率需求。自动光学检测设备
马波斯除了可以在线测量锂离子电池的电极极片，还能够进行方形电芯的电气检测。马波斯在电芯测量方面，能够提供EOL（电芯生产）或BOL（模组组装）阶段智能方形电芯检测台以供测量。智能方形电芯检测台的检测范围很多，可以包括外形尺寸测量、电性能和绝缘性能检测以及电解液泄漏示踪检测。从特征的角度来看，一方面，马波斯智能方形电芯检测台可以适应不同类型方形电芯的检测要求，同时，测量过程中可以提供手动和自动上料解决方案。与此同时，设备的电性能检测范围广，可分容。自动光学检测设备
