极测（南京）技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术，打造超精密温控关键能力：高精密控温技术：动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块，实时捕捉供水温度数据并传输至控制器，通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作，结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如，在半导体极紫外光刻工艺中，该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃，满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。控温精度：提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力，温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。激光精密温控稳定性
精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变，影响空气对光的折射波动；湿度波动会影响空气折射率，湿度过高还易造成电器故障；二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率；微振动会造成仪器设备等抖动，影响光路；电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测（南京）技术有限公司针对不同环境控制需求，提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃，湿度控制精度为 ±5~15%，洁净度等级为十万级到百级，采用恒温恒湿超净间；精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃，湿度控制精度为 ±2~5%，洁净度等级为万级到百级，采用精密恒温恒湿超净间；高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃，湿度控制精度为 ±2~5%，洁净度等级为千级到百级，采用高精密恒温恒湿超净间；超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃，湿度控制精度为 ±1~5%，洁净度等级为百级到十级，在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统，同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
辽宁精密温控室半导体洁净室中通常温度需要严格控制在20°C至25°C范围内，且温度波动不能超过±1°C。
光刻机是半导体制造中的关键设备，其功能是通过光学投影方式，将掩模版上的集成电路图形精确转移到涂有光刻胶的晶圆表面，实现电路图形的图形化转移工序。在芯片制造流程中，光刻环节是蕞为复杂且成本高昂的工艺步骤，其成本占晶圆制造总成本的三分之一，耗时占比达到 40%-60%，直接决定了芯片的制程精度与生产良率。其关键原理是利用高能激光作为光源，光束穿透掩模版后，经过聚光镜系统进行 1/16 比例的缩小，随后精zhun聚焦于晶圆表面，使光刻胶发生感光反应，从而完成电路图形的高精度复制。相当于在头发丝上刻出一座城市的地图，其复杂程度和技术挑战可想而知，也对运行使用环境有极高的要求。
在半导体制造领域，每一纳米的变化都可能直接影响芯片的性能与良率。作为高精度检测的关键环节，半导体量测设备（如电子显微镜、膜厚测量仪、OCD量测等）自身对运行环境的要求也极为苛刻。环境的细微波动，都会引入测量误差。 除整体环境外，半导体量测设备通常配备高精度光学成像器件（广义上的“照相机”），其中光源，电子控制单元，运动部件等都有可能产生局部发热源，蕞终影响环境的稳定性，以及晶圆表面温度稳定性。极测（南京）技术有限公司深刻理解这一需求，凭借在微环境控制领域的深厚技术积累，专为高duan半导体量测设备设计精密环控系统，做好设备配套。系统由设备主柜体（设备维护结构模块）、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。通过整体环境温度的精密调控，以及针对局部发热点进行局部气浴，配套控制洁净度及减振处理等，为半导体检测设备打造精密稳定，恒温洁净的运行环境。极测（南京）技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀不断壮大。
极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力，犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术，确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK（静态），温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度，实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制，精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h，避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障，延长了设备使用寿命。同时，该系统可实现百级以上洁净度控制，内部洁净度蕞高可优于 ISO class3（设备工作区），有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面，避免对测量精度造成干扰。极测（南京）深凭借在微环境控制领域的深厚技术积累，为高duan半导体量测设备设计精密环控系统。激光精密温控稳定性
极测（南京）精密环控柜满足用户不同温湿度稳定性、洁净度，气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。激光精密温控稳定性
在半导体制造的精密领域，每一个细微的温度变化，都可能对芯片的性能产生重大影响。南京拓展科技旗下企业，极测（南京）作为专业的精密温控设备供应商，其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃，洁净度可达一级（优于ISO class1），这一数据在行业内处于前列水平，为更高精度的芯片半导体制造提供了可靠的环境保障。 极测（南京）投入大量资源进行技术研发，致力于为半导体制造提供高精度、高稳定性的温控设备。以其成熟的技术和创新的解决方案，为半导体制造精度构筑起一道坚实的防线。激光精密温控稳定性
