极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的专长,同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师,致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景,科学技术成果认定为国际先进水平。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。极测(南京)高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度。河南膜厚测量仪精密温控
在半导体产业链中,温度波动是导致芯片缺陷的关键因素之一:
蚀刻与沉积环节:极紫外(EUV)光刻、等离子蚀刻等工艺需将温度波动控制在±0.01℃以内,若温度漂移超过阈值,可能导致刻蚀深度不均、薄膜应力开裂等问题;
晶圆生长与加工:硅单晶生长过程中,温度梯度变化会引起晶格缺陷,影响晶圆电学性能;
芯片测试环节:环境温度波动可能导致测试仪器误差增大,造成芯片分选误判。极测精密水冷冷冻水机组以±0.001℃控温精度(远超行业标准)及动态负载适应能力,精zhun解决上述痛点,成为半导体工艺的“温度守护者”。 安徽精密温控定制光学仪器行业通常要求相对湿度控制在40~60%RH之间,某些情况下可能要求更严格的范围,如45~55%RH。
高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C,湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH,洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。
通过查阅资料、咨询专业人士或参考其他用户评价,了解精密环控设备供应商的信誉和口碑。极测(南京)技术有限公司已在众多相关领域成功应用其产品,为客户提供了稳定可靠的研发和生产环境,赢得了赞誉。同时,要清楚精密环控设备供应商的售后服务政策,包括保修期限、售后响应时间等,良好的售后能在设备出现故障时及时维修,减少停机时间。极测在售后方面也有相应的保障措施,为客户解决后顾之忧。如需了解,欢迎浏览极测(南京)技术有限公司官网了解。例如,光刻工艺中,微小的温度波动会导致曝光位置的漂移,进而影响线路的精确度。
精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变,影响空气对光的折射波动;湿度波动会影响空气折射率,湿度过高还易造成电器故障;二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率;微振动会造成仪器设备等抖动,影响光路;电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测(南京)技术有限公司针对不同环境控制需求,提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃,湿度控制精度为 ±5~15%,洁净度等级为十万级到百级,采用恒温恒湿超净间;精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为万级到百级,采用精密恒温恒湿超净间;高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为千级到百级,采用高精密恒温恒湿超净间;超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃,湿度控制精度为 ±1~5%,洁净度等级为百级到十级,在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统,同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
极测精密温控设备已成为半导体企业、典型通信设备商、显示面板前列品牌及众多重量级实验室的合作伙伴。江苏精密温控棚
精密测量需要在恒温条件下进行,因为各种工程材料都有热膨胀性。标准测量温度通常为20℃。河南膜厚测量仪精密温控
极测设备的智能化设计为干涉仪的稳定运行增添强力保障:数据全流程可溯:实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线,数据自动存储并支持表格导出。设备运行状态、故障事件完整记录,为科研数据的溯源分析、生产质量管理提供坚实、透明的依据。智能闭环监控:内置自动安全保护系统,异常情况即时响应,故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。远程协助功能极大缩短故障排除时间,蕞大限度保障干涉仪测量工作的连续性。
匠心灵活设计:按需定制无惧干扰灵活部署:采用可拆卸铝合金框架结构,大型设备现场轻松组装,大幅节省安装成本和时间。坚固美观:高质量钣金箱体坚固耐用,外观颜色可按需定制,完美融入现代化实验室环境。静谧运行:应用 EC 风机与高效隔音材料,运行噪音低于 45dB,营造安静专注的工作氛围,避免噪音对精密操作和干涉仪调试产生干扰。
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