中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案,聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景:半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区,配置防腐蚀监测终端,可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境,实时监测 0.5μm 微粒浓度(采样流量 28.3L/min)、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封装传感器,检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制,当微粒浓度超标时自动启动局部排风,使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业,符合 SEMI S2 安全标准,洁净度监测准确率 99.92%。中源绿净为 25 + 牙膏厂做环境监测,车间洁净度升,产品合格率近 100%!深圳5um环境监测计数器标准操作规程

中源绿净为半导体晶圆切割洁净室开发的环境监测系统,重点强化了微粒与湿度的 管控。应用场景:晶圆切割与划片洁净车间。针对 100 级切割区,部署防静电监测终端,同步采集 0.3μm 微粒浓度(采样流量 50L/min,数据更新周期 2 秒)、车间湿度(45%~55% RH,精度 ±2%)、切割区温度(23±1℃)及静电电压(量程 - 500~+500V)。采用激光散射式粒子计数器, 小检测粒径达 0.1μm,配合湿度动态调节算法,可将湿度波动控制在 ±3% 以内。系统支持与切割设备联动,当微粒浓度超标时自动暂停作业,使晶圆切割崩边率下降 45%。已在中芯国际、华虹半导体应用,符合 SEMI F47 电压标准,环境稳定性达标率 99.93%。十级环境监测颗粒物中源绿净的环境监测方案,助力 30 + 企业提升环境管理水平,树立良好企业形象!

中源绿净针对食品无菌灌装车间的洁净度监测方案,聚焦于生产全流程的洁净管控。应用场景:食品无菌灌装洁净车间。按照 GB 14881 标准要求,在 C 级洁净灌装区部署监测终端,实时监测 0.5μm 微粒浓度(采样频率 1 次 / 5 秒)、空气洁净度等级、设备表面微生物及压差(≥15Pa)。采用 ATP 生物荧光检测技术,表面微生物检测时间从 48 小时缩短至 15 分钟,准确率 98.6%。通过与灌装生产线联动,当洁净度不达标时自动暂停灌装作业并启动消毒程序,使食品无菌合格率提升至 99.97%。已服务于伊利、光明乳业等企业,助力其通过食品安全管理体系认证,洁净度监测数据准确率 100%。
中源绿净在半导体薄膜沉积洁净室洁净度监测中,推出了微粒 - 气体纯度联动方案。应用场景:半导体薄膜沉积洁净车间。针对 10 级沉积区,部署超高精度监测终端,同步检测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 100L/min)、沉积气体纯度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔体压差(≥20Pa)。采用激光散射法与气相色谱联用技术,气体纯度响应时间≤1 秒,微粒检测分辨率达 0.05μm。系统与沉积设备联动,当气体杂质或微粒超标时自动切断气源,使薄膜沉积缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方华创等企业应用,符合 ISO 14644-1 标准,洁净度稳定性达标率 99.95%。中源绿净为 30 + 企业提供环境监测设备维护服务,延长设备使用寿命!

中源绿净针对医疗器械注塑洁净室的环境监测方案,强化了粉尘与模具温度的协同管控。依据 ISO 13485 医疗器械质量管理体系要求,在注塑成型的 8 级洁净区,部署了防高温监测终端,可耐受车间 60℃的环境温度,监测参数包括 1μm 粉尘浓度(检测下限 0.001mg/m³)、模具表面温度(测量范围 20~200℃,精度 ±1℃)、车间湿度(控制在 30%~50% RH)。采用红外测温技术实现非接触式模具温度监测,数据采样间隔 1 秒 / 次,确保及时发现温度波动。通过粉尘 - 温度关联分析,提前预警注塑件粘模风险,使医疗器械注塑合格率提升 38%。已服务于美敦力、强生医疗等 10 家企业,助力其通过 FDA 现场检查,环境数据合规率 100%。中源绿净的环境监测设备,帮 25 + 调味品厂发酵监测,风味稳定性提 12%!苏州0.5um环境监测颗粒物
中源绿净在环境监测项目中,为 300 + 企业提供 1 年历史数据存储,便于追溯过往状况!深圳5um环境监测计数器标准操作规程
中源绿净在化妆品无菌灌装洁净室环境监测中,构建了微生物 - 微粒双参数实时防控体系。应用场景:化妆品无菌灌装车间。针对妆字号无菌产品灌装的 A 级洁净区,采用每 2 平方米 1 个监测终端的布局,实时监测 0.5μm 微粒浓度(采样流量 28.3L/min,每 5 秒更新一次数据)、浮游菌数量(每 30 分钟采样一次,检测下限 1CFU/m³)、环境温湿度(温度 20~25℃,精度 ±0.5℃;湿度 40%~60% RH,精度 ±2%)及灌装区压差(≥15Pa)。系统搭载的微生物快速检测模块采用 ATP 生物荧光技术,检测时间从传统 48 小时缩短至 15 分钟,准确率达 98.5%。通过与灌装线 PLC 联动,当参数超标时 0.5 秒内触发停机,使产品微生物不合格率下降 62%。已在完美、丸美等企业应用,符合《化妆品生产质量管理规范》,环境数据审计通过率 100%。深圳5um环境监测计数器标准操作规程