中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中，打造了超微颗粒 管控体系。应用场景：半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器， 小检测粒径达 0.05μm，检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动，当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI F21 洁净度标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。中源绿净环境监测系统，助力 45 + 保健食品厂洁净监测，达标率 100%！苏州环境监测源头厂家
中源绿净在半导体薄膜沉积洁净室洁净度监测中，推出了微粒 - 气体纯度联动方案。应用场景：半导体薄膜沉积洁净车间。针对 10 级沉积区，部署超高精度监测终端，同步检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、沉积气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔体压差（≥20Pa）。采用激光散射法与气相色谱联用技术，气体纯度响应时间≤1 秒，微粒检测分辨率达 0.05μm。系统与沉积设备联动，当气体杂质或微粒超标时自动切断气源，使薄膜沉积缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方华创等企业应用，符合 ISO 14644-1 标准，洁净度稳定性达标率 99.95%。深圳无尘车间环境监测计数器标准操作规程中源绿净为 25 + 化肥厂监测土壤，养分失衡问题改善，作物长势更好！
中源绿净为核电部件检测洁净室开发的环境监测系统，重点强化了辐射与洁净度协同监测能力。应用场景：核电承压部件无损检测洁净室。针对检测区 8 级洁净环境，部署耐辐射监测终端（耐受累计辐射剂量 100kGy），同步采集 1μm 微粒浓度（采样频率 1 次 / 10 秒）、空气中放射性气溶胶含量（量程 0~100Bq/m³，精度 ±5Bq/m³）、温湿度及气压。采用半导体辐射探测器实现放射性实时监测，响应时间≤2 秒，数据传输采用光纤加密方式，确保抗干扰性和保密性。系统具备远程操控功能，支持在辐射控制区外完成参数配置与数据调取，减少人员辐射暴露风险。通过与通风系统联动，当微粒超标时自动提升换气次数至 60 次 / 小时，使部件检测缺陷误判率下降 45%。已在中核武汉核电运行技术股份有限公司等应用，符合 GB 18871 辐射防护标准，环境监测数据合规率 100%。
中源绿净为光学镜片镀膜洁净室定制的环境监测系统，聚焦于微粒与气体纯度的 管控。针对镜片镀膜的 10 级洁净区，部署了超高精度监测终端，可检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、镀膜气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、环境温湿度及气压。采用激光诱导击穿光谱技术（LIBS）检测气体纯度，响应时间≤1 秒，数据采样频率达 10 次 / 秒。通过与镀膜机联动控制，当气体纯度不达标时自动切断气源，使镜片镀膜不良率下降 45%。已在华为光学、舜宇光学等企业应用，满足 ISO 10110 光学镜片标准，环境管控达标率维持在 99.9%。中源绿净为 200 + 电子厂提供环境监测服务，节省建设时间成本超 300 万，效率极高！
中源绿净在制药配液洁净室环境监测中，打造了药液制备全流程参数监控体系。针对无菌配液的 A 级洁净区，采用每 1 平方米 1 个监测点的超高密度部署，实时监测悬浮粒子（0.5μm 和 5μm 双粒径同时监测，采样流量 50L/min）、微生物浓度（每 15 分钟采样一次）、环境温湿度（温度控制在 20~24℃，精度 ±0.5℃；湿度 45%~65% RH，精度 ±3%）及压差（ 区与缓冲区间压差≥20Pa）。系统搭载的激光粒子计数器 小检测粒径达 0.3μm，数据存储容量可满足 365 天全量数据回溯。通过与配液系统联动，当参数超标时自动触发配液暂停，使配液不合格率下降 65%。已在齐鲁制药、药明康德等企业应用，符合 GMP 附录 1 无菌药品要求，环境监测数据审计通过率 100%。中源绿净的环境监测方案，让 25 + 实验室温湿度控制更准，实验误差降 8%！苏州环境监测源头厂家
中源绿净为 30 + 企业提供环境监测数据分析报告，为企业决策提供有力依据！苏州环境监测源头厂家
中源绿净在电子封装测试洁净室环境监测中，构建了微粒 - 静电 - 温湿度三位一体管控体系。应用场景：半导体封装测试洁净车间。针对 100 级封装区，采用每 2 平方米 1 个监测终端的布局，实时监测 0.3μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min，数据更新周期 2 秒）、静电电压（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）、温度（22±1℃，精度 ±0.3℃）及湿度（40%~50% RH，精度 ±2%）。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm，配合压电式静电传感器，响应时间均≤0.5 秒。通过与封装设备联动，当微粒浓度超标时自动启动局部净化，使芯片封装引线键合不良率下降 48%。已在长电科技、通富微电应用，符合 JEDEC J-STD-033B 标准，环境参数稳定达标率 99.94%。苏州环境监测源头厂家
