中源绿净为半导体晶圆切割洁净室开发的环境监测系统，重点强化了微粒与湿度的 管控。应用场景：晶圆切割与划片洁净车间。针对 100 级切割区，部署防静电监测终端，同步采集 0.3μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、车间湿度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割区温度（23±1℃）及静电电压（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子计数器， 小检测粒径达 0.1μm，配合湿度动态调节算法，可将湿度波动控制在 ±3% 以内。系统支持与切割设备联动，当微粒浓度超标时自动暂停作业，使晶圆切割崩边率下降 45%。已在中芯国际、华虹半导体应用，符合 SEMI F47 电压标准，环境稳定性达标率 99.93%。中源绿净为 65 + 仓库做环境监测，货物霉变率降 12%，减少经济损失！苏州无尘车间环境监测计数器标准操作规程
中源绿净为电子封装洁净室开发的环境监测系统，重点解决了微尘与有害气体的复合监测问题。针对芯片封装的 100 级洁净区，配置了多参数集成监测终端，同步采集 0.3μm 微粒浓度（采样频率 1 次 / 5 秒）、VOCs 浓度（检测范围 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、温湿度及静电电压（量程 - 1000~+1000V）。采用光离子化传感器（PID）检测有机挥发物，响应时间≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源头。系统支持与 FFU（风机过滤单元）联动调节，当微粒浓度超标时自动提升风速至 0.45m/s，使封装缺陷率降低 42%。该系统已适配英特尔、三星电子的生产标准，在先进封装车间应用中，环境稳定性达标率保持在 99.95% 以上。净化车间环境监测计数器使用说明书中源绿净为 200 + 电子厂提供环境监测服务，节省建设时间成本超 300 万，效率极高！
中源绿净在半导体薄膜沉积洁净室洁净度监测中，推出了微粒 - 气体纯度联动方案。应用场景：半导体薄膜沉积洁净车间。针对 10 级沉积区，部署超高精度监测终端，同步检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、沉积气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔体压差（≥20Pa）。采用激光散射法与气相色谱联用技术，气体纯度响应时间≤1 秒，微粒检测分辨率达 0.05μm。系统与沉积设备联动，当气体杂质或微粒超标时自动切断气源，使薄膜沉积缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方华创等企业应用，符合 ISO 14644-1 标准，洁净度稳定性达标率 99.95%。
中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中，打造了超微颗粒 管控体系。应用场景：半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器， 小检测粒径达 0.05μm，检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动，当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI F21 洁净度标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。中源绿净环境监测服务，使 65 + 塑料厂废气处理效率提 18%，环保更可靠！
中源绿净在食品无菌灌装洁净室环境监测中，构建了微生物 - 气压双闭环监测体系。针对果汁、乳制品无菌灌装的 C 级洁净区，采用每 2.5 平方米 1 个监测终端的布局，实时监测沉降菌（检测频率 1 次 / 小时）、浮游菌（采样流量 100L/min）、相邻区域压差（控制梯度≥10Pa，精度 ±1Pa）等参数。系统搭载的生物传感器采用荧光染色技术，微生物检测响应时间≤30 分钟，较传统培养法效率提升 90%。通过与灌装设备联动控制，当微生物浓度超标时自动触发灌装暂停，使产品微生物不合格率下降 55%。已在农夫山泉、光明乳业等企业应用，符合 GB 14881 食品生产卫生规范，环境监测数据通过率 100%。中源绿净的环境监测系统，可与企业现有设备无缝集成，降低企业改造成本！深圳手持式环境监测计数器厂家
中源绿净为 35 + 血液制品厂做环境监测，生产环境达标，产品安全性提 10%！苏州无尘车间环境监测计数器标准操作规程
中源绿净为核电部件检测洁净室开发的环境监测系统，重点强化了辐射与洁净度协同监测能力。应用场景：核电承压部件无损检测洁净室。针对检测区 8 级洁净环境，部署耐辐射监测终端（耐受累计辐射剂量 100kGy），同步采集 1μm 微粒浓度（采样频率 1 次 / 10 秒）、空气中放射性气溶胶含量（量程 0~100Bq/m³，精度 ±5Bq/m³）、温湿度及气压。采用半导体辐射探测器实现放射性实时监测，响应时间≤2 秒，数据传输采用光纤加密方式，确保抗干扰性和保密性。系统具备远程操控功能，支持在辐射控制区外完成参数配置与数据调取，减少人员辐射暴露风险。通过与通风系统联动，当微粒超标时自动提升换气次数至 60 次 / 小时，使部件检测缺陷误判率下降 45%。已在中核武汉核电运行技术股份有限公司等应用，符合 GB 18871 辐射防护标准，环境监测数据合规率 100%。苏州无尘车间环境监测计数器标准操作规程
