韩国技术闸阀蝶形控制阀

微泰半导体闸阀的特点：插板阀主滑阀的球机构方式-在量产工艺设备上的性能验证-由半永久性钢球陶瓷和板簧组成，陶瓷和金属触摸驱动无颗粒-已向中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备，设备厂批量供货，已得到品质认可，已完成对半导体Utility设备和批量生产设备的验证，而其他厂家闸阀金属和金属触摸驱动产生大量颗粒。使用钢陶瓷球，与金属摩擦时不会损坏，金属与陶瓷球之间不会产生Particle，半永久板簧（SUS钢板）的应用确保阀门驱动同步性，采用了固定球导向器和钢陶瓷。微泰半导体闸阀应用于• Evaporation（蒸发）• Sputtering（溅射）• Diamond growth by MW-PACVD（通过MW-PACVD生长金刚石）• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）• Coating（涂层）• Etch（蚀刻）• Diffusion（扩散）•CVD（化学气相沉积）等设备上。可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。当真空阀打开时，闸门移出流路，使气体以高电导率通过。韩国技术闸阀蝶形控制阀

闸阀的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关，不能作调节和节流。闸板有两个密封面，常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异，通常为5°，介质温度不高时为2°52'。楔式闸阀的闸板可以做成一个整体，叫做刚性闸板；也可以做成能产生微量变形的闸板，以改善其工艺性，弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差，这种闸板叫做弹性闸板。闸阀关闭时，密封面可以只依靠介质压力来密封，即依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封，这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的，即阀门关闭时，要依靠外力强行将闸板压向阀座，以保证密封面的密封性。闸阀的闸板随阀杆一起作直线运动的，叫升降杆闸阀，亦叫明杆闸阀。VAT闸阀角控制阀微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。

阀门是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装置，是使配管和设备内的介质（液体、气体、粉末）流动或停止并能控制其流量的装置。 阀门是管路流体输送系统中控制部件，用来改变通路断面和介质流动方向，具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。用于流体控制的阀门，从简单的截止阀到极为复杂的自控系统中所用的各种阀门，其品种和规格繁多， 阀门的公称通径从极微小的仪表阀大至通径达10m的工业管路用阀。可用于控制水、蒸汽、油品、气体、泥浆、各种腐蚀性介质、 液态金属和放射性流体等各种类型流体地流动 ，阀门的工作压力可以从0.0013MPa到1000MPa 的超高压，工作温度可以c-270℃到1430℃的高温。

刀闸阀又称刀型闸阀、刀门闸阀、浆液阀、泥浆阀，它的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，靠可以切割纤维材料的刀刃形闸板来切断介质，闸板有两个密封面,常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异,通常为5°,楔式刀型闸阀的闸板可以做成一个整体，叫做刚性闸板；也可以做成能产生微量变形的闸板,以改善其工艺性,弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差,这种闸板叫做弹性闸板。阀体实际上不存在腔室，闸板在侧面导向槽内升降，并由底部的凸耳紧压在阀座上，如需达到较高的介质密封性时，可选用O形密封阀座实现双向密封。刀闸阀具有较小的安装空间，工作压力低，不易堆积杂物，价格较低。刀型闸阀关闭时，密封面可以只依靠介质压力来密封,即依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封，这就是自密封，大部分闸阀是采用强制密封的,即阀门关闭时，要依靠外力强行将闸板压向阀座,以保证密封面的密封性。本类阀门在管道中一般应垂直安装。刀型闸阀驱动方式：手动，链轮，电动，气动，液动，伞齿轮，电控液动和气液动等驱动方式。刀型闸阀外形：明杆，暗杆两种。刀型闸阀材质：铸铁、铸钢、碳钢、不锈钢、衬氟等。精确控制腔内压力的阀门分为三类：控制系统闸阀、蝶阀、多定位闸阀。

单闸板结构简单，使用可靠，但对密封面的角度的精度要求较高，加工和维修比较困难，温度变化时有楔住的可能。弹性闸板，它具有结构简单、使用可靠的优点，又能产生微量的弹性变形来弥补密封面角度加工过程中产生的偏差，改善了工艺性，因此这种结构已经被广为采用，但要注意在高温时防止楔住。楔式闸板常用于高温、高压、低温、大口径等工况。平板闸阀主要用于输送天然气、原油、成品油及中低压大口径阀门中。平板闸阀适用的场合：1.石油、天然气输送管线。带导流孔的平板闸阀还便于清扫管线。2.成品油的输送管线和贮存设备。3.石油、天然气的开采井口装置，也就是采油树用阀。4.常有悬浮颗粒介质的管道。5.城市煤气输送管线。6.自来水工程。闸阀的结构比较简单，一般由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈几部分组成。多定位闸阀蝶形控制阀

闸阀多应用于石油、天然气等输送管线上，在半导体加工工程设备上也多用闸阀。韩国技术闸阀蝶形控制阀

闸阀在过水的管路中使用非常广，主要做截断流量使用。像蝶阀一样，闸阀也有这不同的分类方法。按照结构形式可以分为明杆闸阀和暗杆闸阀；按照密封面可以分为硬密封闸阀和弹性座软密封闸阀；按照链接形式又有法兰闸阀、焊接闸阀等等。具体选择哪一种阀门，用户可以根据自己的工况条件来选择。闸阀的分类虽多，但他们的工作原理都是相通的，包括闸阀的结构图也都相差无几。一个完整的闸阀由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈等几部分组成。韩国技术闸阀蝶形控制阀