广东高精密飞秒激光真空板

飞秒激光技术目前仍然是一项世界前沿科技。虽然在各个领域已经发挥了各种重要的作用，但我们对它的探索与发展仍然不能停歇。虽然飞秒激光钻孔技术拥有如此神奇的魔力，但其开发难度也是非常大的，特别是进行系统集成化、技术工程化的努力遭遇了各种困难，输出功率也有限制。此外，如何能形成一套完整的微孔加工工业也是世界性难题，但通过我国科学家的努力，不但实现了该系统的实用化和集成化，还发明出了螺旋加工工艺，可以私人订制不同形状的微孔，可以说是达到了国际认可的水平。飞秒激光加工在蓝宝石加工、曲面玻璃和陶瓷生产等领域展现出全新的应用前景。广东高精密飞秒激光真空板

激光打孔工艺可分为长脉冲（ms级）和短脉冲（ns、ps、fs级）激光工艺，注意脉冲宽度是个时间单位，不是长度单位，其中ps皮秒激光和fs飞秒激光也被行业内叫做超快激光。两种工艺相比各有优缺点，同样是气化材料加工小孔，前者因为其单个脉冲照射时间更长，能提供更多能量快速去除材料，相当于大刀阔斧效率高；后者能量细小峰值功率高，可瞬间气化微量材料，素有冷加工的美誉，相当于小刀精啄，几乎没有重熔层，表面质量更好，专业一点讲就是超快激光由于脉冲持续时间远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间，只需考虑电子吸收入射光子的激发和储能过程，加上高达TW（10^12W）级的峰值功率，能量在只有几个纳米厚度内迅速聚集，瞬间产生的超高电子温度值远超材料汽化温度，材料直接从固态转为气态，在表面形成高密度、超热、高压的等离子体状态，实现非热熔性加工。上海高精度飞秒激光超细孔飞秒激光加工技术可对PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼等各种材质的产品进行细孔加工。

氮化硅（Si₃N₄）是一种非常坚硬、耐高温和化学稳定的陶瓷材料，广泛应用于高温环境中的机械零件、刀具和半导体工业中。氮化硅具有优异的物理和化学性质，使其在工程领域中备受青睐。然而，由于其高硬度和脆性，传统的加工方法往往会导致较大的切削力和热应力，可能会损伤工件或导致工件失效。在这种情况下，飞秒激光技术成为了一种备受关注的氮化硅加工方法。飞秒激光切割和打孔是一种高精度、低热影响的加工方法，适用于氮化硅等高硬度材料。这种方法利用飞秒激光器产生的极短脉冲激光束，使得材料在极短的时间内被加热至高温，从而实现切割或打孔。

我们正在生产使用激光的超精密钻孔产品。可对PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼等各种材质的产品进行细孔加工。激光钻孔是一种使用高功率相干激光束快速加热材料以产生汽化现象并加工孔的技术。从而实现高效、高质量的孔加工。尤其擅长加工Ø0.2以下的微孔。使用飞秒激光可以实现Ø0.01mm的钻孔，并且正在不断开发以实现比这更小尺寸的微米级孔。与一般的MCT钻孔不同，激光加工具有热处理后易于加工孔的优点，因此即使在经过强度/硬度或热处理的产品中也可以实现一定质量的孔。飞秒激光通过透镜聚焦激光可获得高激光强度，因此只能在焦点附近形成微结构。

飞秒激光技术在3C产业中的应用。飞秒激光作为超短脉冲激光的典型，具有超短脉宽、超高峰值功率的特点，其加工对象广，尤其适合加工蓝宝石、玻璃、陶瓷等脆性材料和热敏性材料，因此适合于电子产业微细加工行业应用。主要原因是从去年开始的指纹识别模组在手机上的应用带动了飞秒激光设备的采购。指纹模组涉及到激光加工的环节有：①晶圆划片、②芯片切割、③盖板切割、④FPC软板外形切割钻孔、⑤激光打标等。其中主要是蓝宝石/玻璃盖板和IC芯片的加工。苹果6从2015年开始正式使用指纹识别同时带动了一批国产品牌的普及，目前指纹识别渗透率不足50%，因此用于加工指纹识别模组的激光机仍有较大发展空间。同时，激光机还可以应用于PCB钻孔、晶圆划片切割等，应用领域在不断拓宽。尤其是随着未来手机中蓝宝石和陶瓷等高附加值脆性材料的应用，激光加工设备将成为3C自动化设备中重要的组成部分。我们认为在3C自动化加工设备领域，飞秒激光未来或将扮演重要而深刻的角色。飞秒激光加工不需要工具、加工速度快、表面变形小，可加工各种材料。广东微米级飞秒激光刀具制造

飞秒激光几乎可以加工任何材料，但受到激光发射器功率的限制，激光工艺可加工的材料以非金属材料为主。广东高精密飞秒激光真空板

飞秒激光在诱导金属微结构加工应用方面和精细加工方面的其他应用如下：金属纳米颗粒加工自1993年HengleinA等人利用激光消融法制备金属纳米颗粒以来，许多研究小组制备出高纯度、力度分布均匀的金属纳米颗粒。LinkH等人进一步控制飞秒激光的能流密度和照射时间，将金属纳米棒完全融化为金属纳米点。与其他激光脉冲相比，飞秒激光改变的金属颗粒尺寸大小和特定形状，使金属纳米颗粒特别是贵金属（Au、Hg、Pt、Pd等）在催化、非线性光学、医用材料科学等领域具有广阔的应用前景。广东高精密飞秒激光真空板

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