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图2为嵌套螺旋槽机械密封槽深示意图。图中：1-上槽1；2-中槽2；3-下槽3；b1-上槽1宽度；b2-中槽2宽度；b3-下槽3宽度；b-密封堰宽度；r0-密封环外径；r1-上槽1底径；r2-中槽2底径；r3-下槽3底径；ri-密封环内径；α-螺旋角；h1-上槽1深度；h2-中槽2深度；h3-下槽3深度。具体实施方式所述的嵌套螺旋槽用深圳大族激光科技股份有限公司生产的灯泵浦yag-t50系列激光打标机加工，泵浦源为氪灯，使用380v三相四线外接电，整机功率为5kw，系统所发激光波长为1064nm，激光功率≤50w，激光重复频率≤50khz，光束质量m2＜10。在机械密封的动环或静环端面用激光顺序刻蚀上槽1，中槽2，下槽3。刻槽工艺参数为：对于硬质合金，有效矢量步长为、有效矢量步间延时为60μs、q频率为20khz、激光电流为16a；对于碳化硅，有效矢量步长为、有效矢量步间延时为60μs、q频率为20khz、激光电流为17a。。所述的嵌套螺旋槽机械密封端面结构，下槽3对称地分布在中槽2中线的两侧，中槽2对称地分布在上槽1中线的两侧。所述的嵌套螺旋槽机械密封端面结构，螺旋槽的线型为阿基米德螺旋线或对数螺旋线，螺旋线的角度α为10°-20°。所述的嵌套螺旋槽机械密封端面结构，嵌套槽组数为8-15。
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