浙江精密工业烤箱

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉一.产品介绍真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的三、技术指标1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；4、加热元件：石墨加热棒；5、冷却方式：气冷+循环风冷降温；6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；8、气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；9、极限真空:10-3torr级；10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr11、升温功率：170kW；12、升温速率：15℃/min（空载）；13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）真萍科技是从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区**设备等产品专业供应商。浙江精密工业烤箱

通过数显仪表与温感器的连接来控制温度,采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有效提高温度均匀性。如箱门使用中被开关，可借此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。工业烤箱为内外双层结构，壳体为角钢薄钢板，内外双层壳体之间填充有纤维物质。工业烤箱使用的纤维物质多为硅酸铝，它能起到保温的作用，形成可靠的保温层。工业烤箱配置有热风循环系统及温度测量与控制系统。泉州工业烤箱卖合肥真萍科技为您提供专业的售后服务！

1.保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。2.电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHEDHEATER）无尘无氧化电热发生器5风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；可靠先进的测控系统1温度控制装置：日本进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶3温度监控装置：采用日本六通道巡回检测有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。

电热鼓风烤箱：本设备适用于各种产品或材料及电气、仪表、元器件、电子、电工及汽车、航空、通讯塑胶、机械、食品、化工、化学品、五金工具在恒温环境条件下作干燥和各种恒温适应性试验。箱体结构：1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。2、箱体采用先进设备制作、业内的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。3、工作室材质为不锈钢、外箱材质为优良冷轧钢板，产品外壳使用环保金属漆喷制，整体设计美观大方，适合较好实验室的颜色搭配。4、工作室内的搁架不可调节。5、工作室与外箱之间的保温材质是优良超细玻璃纤维保温棉，保温厚度：＞70mm，隔温效果好，国内，高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构独特，极大减少了内腔热量的外传。6、门与门框之间采用高性能密封材料及独特的橡胶密封结构，密封、耐高温性、抗老化性好。控制系统：1、采用数显微电脑温度控制器，控制精确可靠。2、具有定时功能、控温保护功能，设有风机停转开关。保护系统1、超温保护系统2、过电流保护3、快速熔断器4、接地保护工业烤箱的定制价格。

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸：1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：±0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。工业烤箱的制作方法难吗？合肥真萍科技告诉您。高温工业烤箱的价格和照片

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工业烤箱的工作原理：工业烤箱在工作时，操作人员通过仪表和感温器来获得工业烤箱内部的温度值，在通过控制系统进行操作。工业烤箱的热风循环加热方式，与普通的散热加热方式相比，有着更好的气体流动性，能加快工业烤箱内物料的干燥速度。通过数显仪表与温感器的连接来控制温度,采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有效提高温度均匀性。如箱门使用中被开关，可借此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。浙江精密工业烤箱