干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
您喜欢干式真空泵的这些特点吗?成都SDL12E50干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数:
式样:NEODRY 15E
Max排气速度(L/min):250
达到压力(Pa):1
电源电压:单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]:210×250×385
吸气口:KF25
噪声:≤60DB
排气口:KF25
质量【kg】:23kg
二、NEODRY15E 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
NEODRY 15E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选
1
标配
2
电源线
1
标配
3
产品合格证
1
标配
4
气振阀(选配)
未包含
5
消音器(选配)
未包含
6
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
广州SDE1220干式真空泵销售电话浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。
日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE1203X
MAX排气速度(L/min):20000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
消费电力(KW):2.0KW
外型尺寸WHL [mm]:400×905×900
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE1203X主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特,比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却,很好的维持内表面的温度,不至于温度过高或过低,始终维持在一个合适的温度,以防被抽的热敏性物质分解,及高温易聚合的物质,比如HCN及MMA生产企业就比较适合。众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。干式真空泵的主要优势是。
干式真空泵的种类特征
螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。 干式真空泵的优缺点您知道吗?成都SDL12E50干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。成都SDL12E50干式真空泵授权代理
日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU30N18P/H
MAX排气速度(L/min):50000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):1.6KW
外型尺寸WHL [mm]:1000×450×950
质量【kg】:410kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
成都SDL12E50干式真空泵授权代理
浚和(上海)仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。
公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。
有点真空泵不能在大气压下工作 ,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的...