晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。探针测试这一过程是非常精密的,要有很高的专业水平和经验才能完成。河北射频探针台厂家

如何将探针连接至待测点:(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好探针的高度,侧向平视,观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器,将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。江西自动探针台探针台测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。

电缆安装探针既可以手动使用,也可以与多轴探针定位器一起使用。与典型的探针台不同,这些探针足够大,操作员可以手动使用,非常可靠。探针定位器的位置精度和可重复性更高,而且本身可以放置,便于进行测试。与探针台不同,同轴电缆安装探针和定位器可以在工程师或技术人员的典型测试台上用作网络分析仪、信号发生器、频谱分析仪、示波器和其他用于射频/微波、毫米波和高速数字应用的配件。电缆安装射频探针的占位面积小、无损坏,并且具有非侵入式设计,可在高密度应用中进行测试,例如天线阵列、超材料、分形天线、微带传输线、紧凑组件以及具有微小表面安装包装组件的印刷电路板。
探针氧化:通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化,针尖如果氧化,接触电阻变大,测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里,存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化,同时测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。

探针卡没焊到位,是因为焊锡时针受热要稍微的收缩,使针尖偏离压点区,而针虚焊和布线断线或短路,测试时都要测不稳,所以焊针时,应凭自己的经验,把针尖离压点中心稍微偏一点,焊完后使针尖刚好回到压点中心,同时针焊好后应检查针尖的位置,检查针的牢固性。技术员平时焊完卡后应注意检查探针卡的质量如何,把背面的突起物和焊锡线头剪平,否则要扎伤AL层,造成短路或断路,而操作工也应在测试装卡前检查一下。针尖有铝粉:测大电流时,针尖上要引起多AL粉,使电流测不稳,所以需要经常用洒精清洗探针并用氮气吹干,同时测试时边测边吹氮气,以减少针尖上的AL粉。探针台把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。河北手动高低温探针台
芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。河北射频探针台厂家
探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),准确扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。河北射频探针台厂家
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