晶圆测试基本的一点就是:晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏,并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试,封装厂商和设备制造者需要不断探索,进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法,并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测,这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动,从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。随着探针接触到焊点金属的亚表层,这些效应将增加。青海直流探针台价格

顶端压力主要由探针台的驱动器件控制,额外的Z运动(垂直行程)会令其直线上升。此外,探针材质、探针直径、光束长度、和尖锥长度都在决定顶端压力时起重要的作用。解释了触点压力和接触电阻的关系。从本质上来说,随着探针开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层,接触电阻减小而电流流动迅速开始。随着探针接触到焊点金属的亚表层,这些效应将增加。尽管随着探针压力的增强,接触电阻逐渐降低,终它会达到两金属的标称接触电阻值。贵州全自动探针台要多少钱探针台并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。

如何将探针连接至待测点:(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好探针的高度,侧向平视,观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器,将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。
半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。测试信号的完整性需要高质量的探针接触,这与接触电阻(CRes)直接相关。

探针台的日常维护:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,向工作台都是其主要的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。在实际的芯测试中探针卡的状态是非常重要的。河南半自动探针台机构
探针尖如果氧化,接触电阻变大。青海直流探针台价格
探针卡常见故障分析及维护方法:芯片测试是IC制造业里不可缺少的一个重要环节。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。硅片测试的目的是检验可接受的电学性能。测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。如果发现缺陷,产品小组将用测试数据来确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里,并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。通常用户得到电路,直接安装在印刷电路板(PCB)上,PCB生产完毕后,直接对PCB进行测试。这时如果发现问题,就需要复杂的诊断过程和人工分析,才能找到问题的原因。青海直流探针台价格
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