TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备：
扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，
医疗检测设备等 实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。光刻机隔振台实际价格
AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：**多800kg）
型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP
系统形状：控制器与防振单元分离型
主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸：120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸：241×287×142毫米
承重：400kg
单位重量：约9kg
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电源电压：95-240VAC50-60赫兹
耗电量：普通9W
工作温度范围：5℃〜40℃
工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）
可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 光刻机隔振台实际价格TS-C系列具有通用输入，可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。
1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板
AVI主动隔振台
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
AVI 产品特点：
· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
· 安装好后参数不需要调整。
· 从低频率起提高一个隔振环境。
·控制中心有超载指示灯。
Cu(100)-O表面低温AFM图像
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。
支撑面测试
在系统运行时，推动支撑表面。 灯不亮，除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。隔振台联系电话
传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。光刻机隔振台实际价格
AVI-600 / LP的每个单元均可调节，以适应0至600kg的负载。 对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载，可在+/- 90kg之间变化，而不必重设调整。
***操作系统时，请将前面板隔离开关设置为OFF（黑色旋出）。 接通电源。 电源指示灯现在将点亮，并且24个显示LED将短暂闪烁。 黄色的使能LED将以大约2 Hz的频率闪烁。 如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上，则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后，您可以将隔离开关推到ON位置（红色旋钮进入）。黄色LED现在将长久保持亮起，表明系统处于隔离。
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