精密工业烤箱专卖

石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） 合肥真萍科技为您提供质量的定制工业烤箱价格。精密工业烤箱专卖

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的温湿度记录功能：

2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

洁净节能氮气柜的湿度警报系统：

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。

高温工业烤箱供应厂家合肥真萍科技告诉您工业烤箱的外观设计有哪些要求。

下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

2温度范围：+60℃~ +250℃（极限温度350℃）

3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

4温度精确度：±1℃（空箱测试）

5设备型号规格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;

700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;

1000*1300*1000;1000*1400*1000;

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的过滤系统：

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计，风压平均，可有效提供风量，降低噪音。

2.4 电路板控制模块，提供安 全保护装置，运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA，0.12μm，99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力格：单相220V 50Hz 0.95A，输出功率150W。

洁净节能氮气柜的柜体规格、配备：

1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖，方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。 为什么大家都选择合肥真萍科技的工业烤箱，原因真萍告诉您。

可定制高温烘箱

温度控制系统：

1、采用数显微电脑温度控制器，控制精确可靠，精度：0.1℃(显示范围)。

2、具有定时功能、控温保护功能，设有风机停转开关。

电气控制系统：

1、采用品牌电气控制元件。

2、电气线路设计实用，合理布线，可靠放心。

3、箱体顶部为电器控制柜，方便于集中检查维修。

保护系统

1、超温保护系统

2、过电流保护

3、快速熔断器

4、接地保护

可选择配件（需另外收费，订购时请注意）

1、可编程控制器，可实现升温速率可调和保温时间可调，多段可编程。

2、**限温控制器，可实现在主控制器失灵后设备升温过高的情况下立即切断加热。

3、无纸记录仪，通过USB接口将其记录的数据导入计算机可供分析、打印等，是有纸记录仪的更新换代产品，多通道温度记录。

4、配RS-485接口，可连接计算机和记录仪，实现时时监控工作状态。

5、温度测试孔，可实现不同测试线或仪器插入设备工作室内进行多种实验，测试孔孔径有φ25、φ50、φ80可选。

6、载物托架，烘箱设备标配是2个载物托架，客户可根据自身需求增配托架数量。

*技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。 工业烤箱的厂家哪个好？合肥真萍科技告诉您。精密工业烤箱专卖

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一、本产品广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验.

二、主要技术指标：

1、工作室温度范围：常温～ +300℃   用户使用温度260℃

2、温度波动度：    ±1.0℃（空载）；

3、温度偏差：     常压温度试验：常温～200℃时±2℃  

200～300℃时±5.0℃

低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃，

100℃～200℃时±5.0℃

200℃～300℃时±7.0℃

4、 升降温速率：

升温时间：①常压时：90min（常温～ +260℃）

    ②低气压0.0001pa时：180min（常温～ +260℃）

降温时间：3℃～10℃/min（260℃～ 120℃）, 1℃～5℃/min（120℃～ 常温℃）

降温方式：水冷降温

5、试验箱承压方式：采用内承压方式

6、压力范围：     常压～0.0001Pa 精密工业烤箱专卖