近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。上海NEODRY 36E干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU100P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
1660 |
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达到压力(Pa) |
3.0 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×360×630 |
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质量【kg】 |
70kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU100P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 南京KASHIYAMA干式真空泵价格干式真空泵的好处有很多。

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU180X |
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MAX排气速度(L/min) |
3000 |
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达到压力(Pa) |
1.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
95kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU180X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU300P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
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质量【kg】 |
110kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU300P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。上海NEODRY 36E干式真空泵中国授权代理商
KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。上海NEODRY 36E干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1200P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.05KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
380×655×820 |
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质量【kg】 |
185kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1200P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 上海NEODRY 36E干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMAMU30N18P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU30N18P/HMAX排气速度(L/min):50000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):1.6KW外型尺寸WHL[mm]:1000×450×950质量【kg】:410kg二、配置 清单:序号描述数量备注1MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供干式真空泵 ,...