干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
式样 |
SDE120TX |
ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
达到压力(Pa) |
1.3 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
6.5KVA |
吸气口 |
NW50 |
排气口 |
NW40 |
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
南京樫山干式真空泵授权代理干式真空泵的主要特点都有哪些呢?
日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU20M18P/H |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
2.0KW |
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA SDE603X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE603X |
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
1.6KW |
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE603X主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的主要特点有很多。
日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDL12E50/60 |
MAX排气速度(L/min) |
25000 |
达到压力(Pa) |
0.8 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
重量(kg) |
645 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。深圳MU100X干式真空泵正规代理
一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?常州SDE1220干式真空泵授权代理
产品介绍:KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力,NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时,维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。
主要参数:
1. 采用空冷式设计降温
2. 转子与内腔非接触式物理构造设计
3. *Zui大排气速度110L/min
4. 极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)
5. 选配气镇阀后,可排出水与有机溶液,Zui大水份处理量120g/hour
6. *远程或联动输出端子
7. 电动机功率:0.4kW
8. 噪音小于65dB(A)
9. 吸气口径:NW25 排气口径:NW25
10. 重量 20KG
11. 电源电压 单相AC220V
12. 外尺寸:196W x 360L x 219Hmm
基本配置:
1. 主机 一台
2. 选程起动端子 一个
3. 电源线 1.5m 一根
4. 说明书 一本 常州SDE1220干式真空泵授权代理
有点真空泵不能在大气压下工作 ,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的...