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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

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洁净室换气次数的计算方法

洁净室的换气次数主要根据洁净室的送风量确定。婴计算洁净室的换气次数，需要先确定洁净室的送风量。

根据洁净室的气流组织不同以及洁净室的送回风形式不同，洁净室风量的检测也有很多种方法，目前工程上比较常用的有如下几种。

1.使用电子风量仪进行送风量检测。

2.采用风速仪检测风口截面的风速和出风口面积，计算风口的风量。

3.采用风速仪检测风管截面的风速和风管面积，计算风管的风量。

换气的作用是保证有足够的洁净空气稀释室内污染空气。换气次数计算公式为:

N=L/V

式中N-房间换气次数， 次/h;

L-洁净室的总送风量， m/h;

V-洁净室体积， m³。

洁净室房间体积应按洁净室建筑情况正确计算。例如，长方体的洁净室，内部有地板下部空间和天花吊顶上部空间，则其房间体积计算等于房间的长宽高乘积，其中房间高为净高，即房间原高减去地板高度和吊顶高度。 辽宁实验室检测优化价格高效过滤器检测，洁净度检测——蔚亚科技。

噪声超标问题

噪声超标，可能是风管太小，以致于气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题，如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外， 我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。

高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。

在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束，洁净室波洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关团的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员。广东消毒液净化车间环境检测值得推荐

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