仪器需要定期检查和维护，查看腔室清洁：探测腔室在使用过程中请注意清洁，如果有样品洒落腔室，请用无尘布沾酒精进行擦拭。真空泵：真空泵中的油雾可支持真空泵连续工作三个月，请定期查看泵油的余量，泵油低于标准线时要及时添加泵油。油雾过滤器中的滤网，根据实际使用情况（过滤网中的油雾水平），需要进行更换。测量腔室：使用过程中压力升不上去，无法达到真空情况下，请查看该测量通道的门是否已管好，可再次关闭并向内按压门。样品测量完毕，应从测量腔室取出另行存放，避免污染探测器。 嘉定alpha谱仪生厂商新漫alpha能谱仪系列技术，了解一下。
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